阅读说明：本技术 一种柔性公自转传送装置及带有该装置的镀膜机腔体 (Flexible revolution and rotation conveying device and coating machine cavity with same ) 是由 郭爱云 朱选敏 于 2020-04-05 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种柔性公自转传送装置及带有该装置的镀膜机腔体,包括：定齿盘；柔性轨道,柔性轨道设于定齿盘的外环；多个自转轮盘,自转轮盘安装在柔性轨道与定齿盘之间,且通过齿轮与定齿盘啮合接触；驱动机构通过磁流体安装在真空腔体顶板上且通过链轮与自转轮盘上的链齿啮合接触；挂载杆,挂载杆连接在自转轮盘上。本发明的有益效果在于：采用链轮轨道设计方案,装置体积减小,方便在真空腔体内安装其他功能结构及装置；既可以实现单腔体的镀膜公自转运行,在单腔体中进出片挂载,也可以实现多腔体中单腔体的公自转运行,在多腔体间自动的工件交换；柔性轨道可进行变向满足生产中的不同需求；全程可进行自动化控制,操作简便。(The invention provides a flexible revolution and rotation conveying device and a coating machine cavity with the same, comprising: a fixed gear disc; the flexible track is arranged on the outer ring of the fixed fluted disc; the self-rotating wheel discs are arranged between the flexible tracks and the fixed gear disc and are in meshing contact with the fixed gear disc through gears; the driving mechanism is arranged on the top plate of the vacuum cavity through a magnetic fluid and is in meshed contact with the sprocket on the self-rotating wheel disc through a sprocket; and the mounting rod is connected to the self-rotating wheel disc. The invention has the beneficial effects that: by adopting the design scheme of the chain wheel track, the device has reduced volume and is convenient for installing other functional structures and devices in the vacuum cavity; the coating revolution and rotation operation of a single cavity can be realized, the loading of the film in and out of the single cavity can be realized, the revolution and rotation operation of the single cavity in multiple cavities can also be realized, and the automatic workpiece exchange among the multiple cavities can be realized; the flexible track can change the direction to meet different requirements in production; the whole process can be automatically controlled, and the operation is simple and convenient.)

一种柔性公自转传送装置及带有该装置的镀膜机腔体

技术领域

本发明属于镀膜技术领域，具体涉及一种柔性公自转传送装置及带有该装置的镀膜机腔体。

背景技术

真空镀膜已经大量应用于生活生产领域，尤其在装饰镀膜，光学镀膜，电子产品镀膜和建筑玻璃镀膜等领域。镀膜时，将基片与靶材同置真空腔中，通过加热等方式，使靶材表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。

在批量生产装饰膜和电子小配件镀膜时候，工件随着工件架在真空腔体内相对阴极做公自转运动，有利于镀膜的均匀成膜和大批量生产；同时大批量快速的挂载和稳定顺利的进行真空腔体内外搬运挂件成为生产的关键。

公自转工件架在真空镀膜领域已经广泛使用，用来提高镀膜的均匀型和单腔体装载量；除了单腔体镀膜，多腔体镀膜生产线也应用公自转工件架完成镀膜工艺，不仅如此公自转工件架在多腔体镀膜生产线中也要完成工件交换，通常单腔体的公自转有中心动力引入和旁置动力引入两种，在镀膜设备上能够实现公自转和自转的工装。

然而，现有的公自转工件架由于结构过大，不利于真空腔体中组件的安装，如抽真空装置；在多腔体安装中，为配合现有的公自转工件架通过阀门与进出门，与之配合的真空腔体插板阀的跨度及真空腔体进出门的宽度都会较大，进而也会其他功能模块的布置。

发明内容

为解决现有公自转工件架结构过大而影响整体镀膜机安装的技术问题，本发明提供一种柔性公自转传送装置及带有该装置的镀膜机腔体。

具体技术方案如下：

一种柔性公自转传送装置，其不同之处在于，所述柔性公自转传送装置包括：

定齿盘；

柔性轨道，所述柔性轨道设于所述定齿盘的外环；

多个自转轮盘，所述自转轮盘安装在所述柔性轨道与所述定齿盘之间，且与所述定齿盘接触；

驱动机构，所述驱动机构与所述自转轮盘进行连接，所述自转轮盘在所述驱动机构驱动下沿所述柔性轨道运动；

及

挂载杆，所述挂载杆连接在所述自转轮盘上。

进一步，所述定齿盘包括定齿盘本体及沿着所述定齿盘本体边沿设置的定轮齿轮；所述自转轮盘包括自转轮盘本体及沿着所述自转轮盘本体边沿设置的自转轮盘齿轮，所述自转轮盘齿轮与所述定轮齿轮啮合。

进一步，所述柔性轨道包括公转轨道部及转向轨道部，所述转向轨道部连接有旋转支架，所述旋转支架与变向驱动机构连接。

进一步，所述驱动机构包括动力部件及传动部件，所述传动部件包括安装座台、安装在所述安装座台上并与所述柔性轨道相配合的滑轮组，每个所述安装座台上安装一个所述自转轮盘，所述动力部件为所述滑轮组提供动力使其沿所述柔性轨道进行运动。

进一步，所述动力部件包括电机组、与电机组的动力链轮及设置在所述安装座台上且与所述动力链轮啮合的一排链齿轴。

进一步，相邻所述安装座台通过活动锁扣沿着所述柔性轨道进行连接。

进一步，所述自转轮盘上开设有孔洞且下方连接有轴承套，轴承套内嵌有自转轴，所述挂载杆连接在自转轴上。

进一步，所述电机组包括电机安装座、安装在所述电机安装座外部的动力电机、及安装在所述电机安装座内部且与所述动力链轮真空密封连接的磁流体。

一种镀膜机单腔体，其不同之处在于，所述镀膜机单腔包括腔本体及腔体门，所述腔本体包括腔本体顶侧及围绕所述腔本体顶侧的腔本体侧面，所述腔本体侧面设有开口，所述腔体门安装在腔本体的开口处，所述腔本体顶侧安装由上述柔性公自转传送装置及监控所述柔性公自转上传送装置的信号检测仪。

一种镀膜机多腔体，其不同之处在于，所述镀膜机多腔体由两个或两个以上的镀膜机单腔体利用真空隔离阀进行拼接而成，每个镀膜机单腔体包括：腔本体、腔体门，所述腔本体包括腔本体顶侧及围绕所述腔本体顶侧的腔本体侧面，所述腔本体侧面对称设有两个开口，所述腔体门安装在腔本体的开口处，所述腔本体顶侧安装由上述柔性公自转传送装置及监控所述柔性公自转传送装置的信号检测仪。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：(1)采用链轮轨道设计方案，装置的结构体积小，方便在腔体内安装其他功能结构及装置；(2)既可以实现单腔体的镀膜公自转运行，在单腔体中进出片挂载，也可以实现多腔体中单腔体的公自转运行，在多腔体间自动的工件交换；(3)柔性轨道可进行变向满足生产中的不同需求；(4)全程可进行自动化控制，操作简便。

附图说明

图1为柔性公自转上传送装置拼装图；

图2为柔性公自转上传送装置拼装仰视图；

图3为图2A-A方向剖视图；

图4为柔性公自转上传送装置与腔体安装图；

图5为柔性公自转上传送装置与腔体安装仰视图；

图6为实施例2镀膜机单腔体图；

图7为实施例3镀膜机多腔体仰视图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

柔性公自转传送装置-A，定齿盘-1，定齿盘本体-101，定轮齿轮-102，柔性轨道-2，公转轨道部-201，转向轨道部-202，旋转支架-203，变向驱动机构-204，自转轮盘-3，自转轮盘本体-301，自转轮盘齿轮-302，轴承套-303，自转轴-304，驱动机构-4，动力部件-401，电机组-4011，动力链轮-4012，链齿轴-4013，电机安装座-4011a，动力电机-4011b，磁流体-4011c，传动部件-402，安装座台-4021，滑轮组-403，滑座-4031，V型滑轮组件-4032，活动锁扣-404，挂载杆-5，镀膜机单腔-B，腔本体-B1，开口-B2，腔本体顶侧-B1a，腔本体侧面-B1b，检测仪安装座-B101，真空隔离阀-C。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。

实施例1

一种柔性公自转传送装置A，如图1至图5所示，包括：定齿盘1；柔性轨道2，所述柔性轨道2设于所述定齿盘1的外环，可依据工作轨迹进行提前设计固定轨道，也可设计成可变化轨道在工作中进行运转；多个自转轮盘3，所述自转轮盘3安装在所述柔性轨道2与所述定齿盘1之间，且与所述定齿盘1接触，可产生摩擦力；驱动机构4，所述驱动机构安装在所述柔性轨道2上且与所述自转轮盘3进行连接，所述自转轮盘3在所述驱动机构4驱动下沿所述柔性轨道2进行运动，同时，由于自转轮盘3与定齿盘1之间的相互作用力，自转轮盘3沿柔性轨道2运动的同时也进行自转；挂载杆5，所述挂载杆5连接在所述自转轮盘3上，所述自转轮盘3上开设有孔洞且下方固定有轴承套303，轴承套303内安装有自转轴304，所述挂载杆5连接在自转轴304上随着自转轮盘3的自转进行旋转。

在本实施例中，所述定齿盘1包括定齿盘本体101及沿着所述定轨道本体101边沿设置的定轮齿轮102；所述自转轮盘3包括自转轮盘本体301及沿着所述自转轮盘本体301边沿设置的自转轮盘齿轮302，所述自转轮盘齿轮302与所述定轮齿轮302啮合。

在本实施例中，所述柔性轨道2分为公转轨道部201及转向轨道部202，依据实际情况，可设计不同数量的公转轨道部201及转向轨道部202进行拼接，所述转向轨道部202连接有旋转支架203，所述旋转支架203与变向驱动机构204进行连接，本实施例采用安装在转向气缸安装座上的转向气缸作为变向驱动机构与旋转支架203进行连接，旋转支架203包括与转向气缸连接的旋转部及连接在旋转部另一端上的两个支撑部，支撑部连接在转向轨道部下方。

在本实施例中，所述驱动机构4包括动力部件401及传动部件402，所述传动部件402包括安装座台4021、安装在所述安装座台4021上并与所述柔性轨道2相配合的滑轮组403，本实施例中，滑轮组403包括滑座4031及V型滑轮组件4032，两者通过螺丝固定，所述安装座台4021上开设有轴承套安装孔，自转轮盘3通过轴承套安装在轴承套安装孔上从而固定在安装座台4021上，每个所述安装座台4021上安装一个所述自转轮盘3，相邻所述安装座台4021通过活动锁扣404沿着所述柔性轨道2进行连接；所述动力部件401包括电机组4011、与电机组4011连接的动力链轮4012及设置在所述安装座台4021上且与所述动力链轮4012啮合的一排链齿轴4013，链齿轴4013分为前端链齿轴及后端链齿轴，通过活动锁扣404连接的相邻的安装座台4021两两一组，每一组其中一个动力链轮4012的起始位置安装在前端链齿轴4013，另一个动力链轮4012的起始位置安装在后端链齿轴4013，确保链齿轴4013与动力链轮4012的接触，从而使安装座台4021的运动。采用此方法进行驱动可以保证自转轮盘围绕定轨道运动，也可保证在柔性轨道变轨后，自转轮盘沿柔性轨道继续运动。

本实施例中，所述电机组4011包括电机安装座4011a、安装在所述电机安装座4011a外部动力电机4011b、及安装在所述电机安装座4011a内部且与所述动力链轮连接的磁流体4011c。

本实施例装置使用方法：动力电机4011b带动动力链轮4012进行转动，安装座台4021通过链齿轴4013与动力链轮4012的啮合带动安装台座的滑轮组403沿着柔性轨道2进行运动，与此同时，自转轮盘3在安装台座4021带动下进行公转与自转，与自转轮盘3连接的挂载杆5也随着自转轮盘3进行运动。

实施例2

一种镀膜机单腔体B，如图4～图6所示，包括：腔本体B1、腔体门(图中未示出)，所述腔本体B1包括腔本体顶侧B1a及围绕所述腔本体顶侧B1a的腔本体侧面B1b，所述腔本体侧面B1b设有开口B2，所述腔体门安装在腔本体的开口B2处，所述腔本体顶侧B1a安装实施例1柔性公自转上传送装置A，在本实施例中，腔本体顶侧B1a开设有传送装置安装孔，动力电机4011b及电机安装座4011a安装在腔本体顶侧B1a外侧，磁流体4011c安装在电机安装座4011a里面并穿过传送装置安装孔与动力链轮4012真空密封连接，动力链轮4012、安装座台4021、柔性轨道2、定齿盘1安装在腔本体顶侧外部。传送装置信号检测仪也安装在腔本体顶侧的检测仪安装座B101上。

将柔性公自转传送装置A安装在镀膜机单腔体B的顶部，即可实现挂载杆的公自转，完成镀膜工艺，相较于托盘、托架等运载工具大大节省了空间，方便腔体内其余功能模块的布置。

实施例3

一种镀膜机多腔体，如图4～图7所示，所述镀膜机多腔体由多个镀膜机单腔体B通过真空隔离阀C进行拼接而成，本实施例中，所用真空隔离阀C为插板阀，其中，每个镀膜机单腔体包括：腔本体B1、腔体门(图中未示出)，所述腔本体B1包括腔本体顶侧B1a及围绕所述腔本体顶侧B1a的腔本体侧面B1b，所述腔本体侧面B1b对称设有两个开口B2，所述腔体门安装在腔本体的开口B2处，真空隔离阀C拼接在腔体门处，所述腔本体顶侧B1a安装由上述柔性公自转传送装置A，柔性公自转上传送装置A安装方式参照实施例2。

本实施例中，在腔体门处的柔性轨道部分2为转向轨道部202，通过变换运型轨道转向轨道部202进行工件交换，采用此方法进出过道阀门和进出门的方式，可以减小插板阀的宽度和进出门的宽度。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。