一种工艺腔室
阅读说明：本技术 一种工艺腔室 (Process chamber ) 是由 李冲 吴琼 孙红霞 于 2019-04-30 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种工艺腔室,用于柔性太阳能电池的柔性衬板镀膜,包括：腔室主体,具有围成一收容空间的顶壁、前侧壁、后侧壁、左侧壁、右侧壁、底壁,所述左侧壁开设有进料口、所述右侧壁开设有出料口；限位装置,所述顶壁和所述底壁中的至少一个壁设置有所述限位装置,所述限位装置限制所述柔性衬板上下移动。本发明通过在腔室中设置限位装置,限位装置限制传动过程中的柔性衬板上下移动,从而保证柔性衬板在传动过程中始终保持表面平整,防止柔性衬板在传动过程中因上下浮动导致柔性衬板上端翘曲和下端翘曲,而出现划伤或褶皱等不良问题,从而提升生产良率。(The invention discloses a process chamber for flexible liner plate coating of a flexible solar cell, which comprises the following steps: the cavity body is provided with a top wall, a front side wall, a rear side wall, a left side wall, a right side wall and a bottom wall which enclose an accommodating space, wherein the left side wall is provided with a feeding hole, and the right side wall is provided with a discharging hole; and at least one wall of the top wall and the bottom wall is provided with the limiting device, and the limiting device limits the flexible lining plate to move up and down. According to the invention, the limiting device is arranged in the cavity and limits the flexible lining plate to move up and down in the transmission process, so that the surface of the flexible lining plate is always kept flat in the transmission process, the problems of scratching or wrinkling and the like caused by the warping of the upper end and the warping of the lower end of the flexible lining plate due to up-and-down floating of the flexible lining plate in the transmission process are prevented, and the production yield is improved.)
技术领域
本发明属于太阳能电池加工设备技术领域，具体地说，涉及一种工艺腔室。
背景技术
现有技术中，真空镀膜设备已经广泛地应用在光伏发电领域，尤其对于柔性衬板的镀膜，连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机具有镀膜效率高、结构紧凑、占地空间小等优势。目前制备柔性太阳能电池所采用的连续环形真空镀膜设备所采用的柔性衬板传动系统，主要由进料口放卷驱动辊轴、位于真空腔室的传动辊轴、出料口驱动辊轴三部分构成。柔性衬板在各个辊轴处与辊轴接触，并被施加一定的张力，从而使得柔性基底能够尽量保持表面平整地在环形腔室内多次改变方向向前传动。
现有的连续环形真空镀膜设备，柔性衬板仅依靠几根辊轴来传动，由于从进腔口到出腔口之间的距离过长，且柔性衬板在传动过程中，走的是环形路线，运动方向不断发生变化，导致柔性衬板在传动过程中容易上下浮动，在纵向上形成波浪形的翘曲，甚至形成褶皱。从而影响生产出的电池产品的性能，降低生产良率。
有鉴于此特提出本发明。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种工艺腔室，柔性衬板在传动过程中始终保持表面平整，防止柔性衬板在传动过程中因上下浮动导致柔性衬板上端翘曲和下端翘曲,而出现划伤或褶皱等不良问题，从而提升生产良率。
为解决上述技术问题，本发明采用技术方案的基本构思是：一种工艺腔室，用于柔性太阳能电池的柔性衬板镀膜，包括：
腔室主体，具有围成一收容空间的顶壁、前侧壁、后侧壁、左侧壁、右侧壁、底壁，所述左侧壁开设有进料口、所述右侧壁开设有出料口；
限位装置，所述顶壁和所述底壁中的至少一个壁设置有所述限位装置，所述限位装置限制所述柔性衬板上下移动。
进一步的，所述限位装置包括：
壳体，所述壳体与腔室主体连接；
限位滚轮，横向可转动的设置在所述壳体上，所述限位滚轮外表面抵靠在所述柔性衬板的边缘。
进一步的，所述限位滚轮的外表面周向设置凹槽。
进一步的，所述限位装置还包括：
夹送辊组，所述夹送辊组包括第一夹送辊和第二夹送辊，所述第一夹送辊和第二夹送辊均纵向可转动的设置在所述壳体上；
所述第一夹送辊和所述第二夹送辊之间形成夹缝，所述夹缝供所述柔性衬板通过。
进一步的，所述第一夹送辊和所述第二夹送辊之间的间距可调节。
进一步的，所述壳体包括：第一壳体，呈“E”字型；第二壳体，呈“E”字型；所述第一壳体和所述第二壳体相对设置，之间形成“工”字型腔体；
所述第一夹送辊设置第一壳体上，第二夹送辊设置第二壳体上，相对容置于所述“工”字型腔体的上腔；
所述限位滚轮一端设置在所述第一壳体上，另一端设置在所述第二壳体上，所述限位滚轮容置于所述“工”字型腔体的下腔。
进一步的，所述第一壳体设置有第一支撑部，所述第二壳体设置有第二支撑部，横向轴杆贯穿所述限位滚轮，所述横向轴杆一端与第一支撑部转动连接，另一端与第二支撑部转动连接。
进一步的，所述限位滚轮设置为多个，沿着横向方向上一字间隔分布，多个所述限位滚轮外表面在同一个高度上。
进一步的，所述夹送辊组设置为多个，沿着横向方向上一字间隔分布。
进一步的，所述限位装置设置为两个，相对设置于所述顶壁和所述底壁。
本发明通过在腔室中设置限位装置，限位装置限制传动过程中的柔性衬板上下移动，从而保证柔性衬板在传动过程中始终保持表面平整，防止柔性衬板在传动过程中因上下浮动导致柔性衬板上端翘曲和下端翘曲,而出现划伤或褶皱等不良问题，从而提升生产良率。
下面结合附图对本发明的
具体实施方式
作进一步详细的描述。
附图说明
附图作为本发明的一部分，用来提供对本发明的进一步的理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，但不构成对本发明的不当限定。显然，下面描述中的附图仅仅是一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。在附图中：
图1是本发明提供的一种工艺腔室整体结构示意图；
图2是本发明提供的限位装置结构示意图；
图3是本发明提供的限位装置右视结构示意图；
图4是图3中的A—A向剖视图结构示意图。
图中：1、顶壁；2、前侧壁；3、后侧壁；4、左侧壁；5、右侧壁；6、底壁；7、腔室主体；8、限位装置；9、壳体；91、第一壳体；92、第二壳体；10、第一夹送辊；11、第二夹送辊；12、限位滚轮；13、凹槽；14、出料口；15、进料口。
需要说明的是，这些附图和文字描述并不旨在以任何方式限制本发明的构思范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本发明的概念。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
如图1至图4所示，本发明提供一种工艺腔室，该工艺腔室用于柔性太阳能电池的柔性衬板镀膜，工艺腔室包括腔室主体7和限位装置8。
具体的，腔室主体7具有围成一收容空间的顶壁1、前侧壁2、后侧壁3、左侧壁4、右侧壁5、底壁6，左侧壁4开设有进料口15、右侧壁5开设有出料口14，限位装置8的顶壁1和底壁6中的至少一个壁设置有限位装置8，进一步的，限位装置8可以设置在腔室主体7的顶壁1，也可以设置在腔室主体7的底壁6，还可以在腔室主体7的顶壁1和腔室主体7的底壁6均设置限位装置8。
当柔性衬板由进料口15进入在工艺腔室中传动至出料口14的过程中，限位装置8在腔室中限制柔性衬板上下移动。防止柔性衬板在传动过程中上下移动，从而保证柔性衬板在传动过程中始终保持表面平整，防止柔性衬板在传动过程中因上下移动导致柔性衬板上端翘曲和下端翘曲,而出现划伤或褶皱等不良问题，从而提升生产良率。
进一步的，限位装置8包括壳体9和限位滚轮12，壳体9与腔室主体7连接，壳体9与腔室可以是一体成型，也可以通过现有的机械连接方式连接，在此不在限定。限位滚轮12沿着横向方向上可转动的设置在壳体9上，限位滚轮12外表面抵靠在柔性衬板的边缘。柔性衬板在传动过程中会出现向上或者是向下的移动的趋势时，由于限位滚轮12外表面抵靠在柔性衬板的边缘，限位滚轮12会给柔性衬板一个阻挡的作用力，从而限制柔性衬板在传动过程中的上下移动。
优选的，在限位滚轮12的外表面周向设置凹槽13。柔性衬板的边缘抵靠在凹槽13的槽底面。凹槽13的侧壁限制柔性衬板的边缘水平方向上的移动。
进一步的，限位装置8包括夹送辊组，夹送辊组包括第一夹送辊10和第二夹送辊11，第一夹送辊10和第二夹送辊11均纵向可转动的设置在壳体9上，第一夹送辊10和第二夹送辊11之间形成夹缝，夹缝供柔性衬板通过。夹送辊可限制柔性衬板在传动过程中水平方向上的移动。
优选的，狭缝的宽度与柔性衬板的厚度相同，柔性衬板在传动过程中，柔性衬板从第一夹送辊10和第二夹送辊11之间形成夹缝穿过，第一夹送辊10和第二夹送辊11对柔性衬板产生一个夹紧力，该夹紧力不仅可以导向柔性衬板的传动方向，而且还可以限制柔性衬板传动过程中水平方向上的移动，和性衬板传动过程中高度方向上的移动。
更优选的，由于柔性衬底的厚度不同，或者是长期第一夹送辊10和第二夹送辊11与柔性衬底加紧配合，会造成第一夹送辊10和第二夹送辊11的外表面磨损，从而第一夹送辊10和第二夹送辊11之间的间距增大，导致第一夹送辊10和第二夹送辊11之间的间距大于柔性衬底的厚度。这样第一夹送辊10和第二夹送辊11对柔性衬板不会产生一个夹紧力，为了解决这个问题，第一夹送辊10和第二夹送辊11之间的间距可调节。第一夹送辊10可以向第二夹送辊11移动，或者是第二夹送辊11可以向第一加送辊移动，或者是，第一夹送辊10和第二夹送辊11可相互相对移动。移动实现方式为现有夹送辊组控制间距调节方式，在此不在具体阐述。
如图1至图4所示，本发明提供一种工艺腔室，该工艺腔室用于柔性太阳能电池的柔性衬板镀膜，工艺腔室包括腔室主体7和限位装置8。
腔室主体7具有围成一收容空间的顶壁1、前侧壁2、后侧壁3、左侧壁4、右侧壁5、底壁6，左侧壁4开设有进料口15、右侧壁5开设有出料口14，限位装置8包括壳体9和限位滚轮12，壳体9与腔室主体7连接，壳体9与腔室可以是一体成型，也可以通过现有的机械连接方式连接，在此不在限定。
具体的，限位装置8包括壳体9，壳体9包括第一壳体91和第二壳体92，第一壳体91，呈“E”字型；第二壳体92，呈“E”字型，第一壳体91和第二壳体92相对设置，之间形成“工”字型腔体，第一夹送辊10设置第一壳体91上，第二夹送辊11设置第二壳体92上，相对容置于“工”字型腔体的上腔，限位滚轮12一端设置在第一壳体91上，另一端设置在第二壳体92上，限位滚轮12容置于“工”字型腔体的下腔。
第一夹送辊10通过纵向的轴杆安装于第一壳体91上，位于“工”字型腔体的上腔，第一夹送辊10可绕着纵向的轴杆周向旋转。
第二夹送辊11通过纵向的轴杆安装于第二壳体92上，位于“工”字型腔体的上腔，第二夹送辊11可绕着纵向的轴杆周向旋转。
第一夹送辊10和第二夹送辊11之间形成夹缝，夹缝供柔性衬板通过。柔性衬板从第一夹送辊10和第二夹送辊11之间形成夹缝穿过，第一夹送辊10和第二夹送辊11对柔性衬板产生一个夹紧力，该夹紧力不仅可以导向柔性衬板的传动方向，而且还可以限制柔性衬板传动过程中水平方向上的移动。
第一壳体91设置有第一支撑部，第一支撑部位于“工”字型腔体的下腔，第二壳体92设置有第二支撑部，第二支撑部位于“工”字型腔体的下腔，横向轴杆贯穿限位滚轮12，横向轴杆一端与第一支撑部转动连接，另一端与第二支撑部转动连接。
限位滚轮12沿着横向方向上可转动的设置在壳体9上，限位滚轮12位于“工”字型腔体的下腔，限位滚轮12外表面抵靠在柔性衬板的边缘。柔性衬板在传动过程中会出现向上或者是向下的移动的趋势时，由于限位滚轮12外表面抵靠在柔性衬板的边缘，限位滚轮12会给柔性衬板一个阻挡的作用力，从而限制柔性衬板在传动过程中上下的移动。
进一步的，限位滚轮12设置为多个，沿着横向方向上一字间隔分布，多个限位滚轮12外表面在同一个高度上。夹送辊组设置为多个，沿着横向方向上一字间隔分布。
由于工艺腔室在横向上的长度不同，当该长度较长时，限位滚轮12设置为多个，沿着横向方向上一字间隔分布。
多个限位滚轮12的外表面在一个高度上，共同抵靠在柔性衬板的边缘，更有效的限制柔性衬板在传动过程中上下的移动。
同样的，夹送辊组设置为多个，沿着横向方向上一字间隔分布。多个夹送辊组共同对柔性衬板产生夹紧力，可以更好的导向柔性衬板的传动方向，而且还可以限制柔性衬板传动过程中水平方向上的移动，和性衬板传动过程中高度方向上的移动。
优选的，第一夹送辊10、第二夹送辊11、限位滚轮12外表面设置有防磨层，增强耐磨能力，防止损坏。
本发明提供一种工艺腔室，该工艺腔室用于柔性太阳能电池的柔性衬板镀膜，工艺腔室包括腔室主体7和限位装置8。
具体的，腔室主体7具有围成一收容空间的顶壁1、前侧壁2、后侧壁3、左侧壁4、右侧壁5、底壁6，左侧壁4开设有进料口15、右侧壁5开设有出料口14，腔室主体7的顶壁1和底壁6中的至少一个壁设置有限位装置8，进一步的，限位装置8可以设置在腔室主体7的顶壁1，也可以设置在腔室主体7的底壁6，还可以在腔室主体7的顶壁1和腔室主体7的底壁6均设置限位装置8。
由于限位装置8中的夹送辊组对柔性衬板产生一个夹紧力，该夹紧力不仅可以导向柔性衬板的传动方向，而且还可以限制柔性衬板传动过程中水平方向上的移动，和柔性衬板传动过程中高度方向上的移动。
所以只要腔室主体7的顶壁1和底壁6中的至少一个壁设置有限位装置8，就可以实现防止柔性衬板在传动过程中上下移动，从而保证柔性衬板在传动过程中始终保持表面平整，防止柔性衬板在传动过程中因上下移动导致柔性衬板上端翘曲和下端翘曲,而出现划伤或褶皱等不良问题，从而提升生产良率。
优选的，限位装置8设置为两个，相对设置于顶壁1和底壁6。
当柔性衬板由进料口15进入在工艺腔室中传动至出料口14的过程中，柔性衬板由进料口15进入在工艺腔室中，柔性衬板的上端面低靠在，设置于顶壁1上的限位装置8的限位滚轮12的外表面。柔性衬板的上端从设置于顶壁1上的限位装置8的第一夹送辊10和第二夹送辊11之间形成夹缝穿过。
柔性衬板的下端面低靠在，设置于底壁6上的限位装置8的限位滚轮12的外表面。柔性衬板的下端从设置于底壁6上的限位装置8的第一夹送辊10和第二夹送辊11之间形成夹缝穿过。
柔性衬板从进料口15进入，经工艺腔室，至出料口14的过程中，通过相对设置于顶壁1和底壁6的限位装置8对柔性衬板在传动过程中的导向与限位。使得柔性衬板在传动过程中始终保持表面平整，防止柔性衬板在传动过程中因上下移动导致柔性衬板上端翘曲和下端翘曲,而出现划伤或褶皱等不良问题，从而提升生产良率。
以上所述仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专利的技术人员在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述提示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明方案的范围内。