阅读说明：本技术 一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置 (Device for assisting in replacing magnetron sputtering rotating target ) 是由 易立 张朝晖 张军杰 魏玉飞 于 2019-12-04 设计创作，主要内容包括：本发明公开一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置,包括龙门架、靶材放置小车和卷扬机,在换靶小车两边铺设有预埋轨道,龙门架的底部滑动放置在两侧的预埋轨道上,卷扬机安装在龙门架的顶梁上并可沿顶梁滑动,卷扬机传动端通过吊带连接有吊钩；靶材放置小车通过连接杆固定在龙门架的一侧并随龙门架一起移动,靶材放置小车用于放置旧靶材。本发明中辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置,在更换旋转靶材的操作过程中,无行车因更换旋转靶材需在换靶小车工位长时间停滞现象,换靶效率大大提高,停机维护总时长缩短约50％,延长了生产线的有效生产时长,可为企业创造更多产值。(The invention discloses a device for assisting in replacing a magnetron sputtering rotating target, which comprises a portal frame, a target placing trolley and a winch, wherein pre-buried tracks are laid on two sides of the target replacing trolley, the bottom of the portal frame is placed on the pre-buried tracks on two sides in a sliding manner, the winch is arranged on a top beam of the portal frame and can slide along the top beam, and a transmission end of the winch is connected with a lifting hook through a hanging strip; the target material placing trolley is fixed on one side of the portal frame through the connecting rod and moves along with the portal frame, and the target material placing trolley is used for placing old target materials. According to the device for assisting in replacing the magnetron sputtering rotary target, in the operation process of replacing the rotary target, the phenomenon that a travelling crane needs to be stopped for a long time at a station of a target replacing trolley because the rotary target is replaced is avoided, the target replacing efficiency is greatly improved, the total shutdown maintenance time is shortened by about 50%, the effective production time of a production line is prolonged, and more production values can be created for enterprises.)

一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置

技术领域

本发明涉及靶材更换技术领域，特别是涉及一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置。

背景技术

目前全国的离线镀膜玻璃生产线有125条，镀膜生产线的镀膜机在每生产一个周期后应对设备进行停机维护和更换靶材。根据生产状态的不同，镀膜机更换靶材的频次约为20～40天/次，在镀膜线长达十数年的生命周期里，更换靶材作业是一项高频率的重复性工作。在现有的厂房结构和镀膜线布局的条件下，更换靶材的操作是：在镀膜机具备停机维护的条件后，用行车将镀膜机的阴极盖板吊到换靶小车上并固定，换靶小车翻转使靶材朝上。因旋转靶材较重且，必须用行车拉住靶材，等操作人员将靶材与阴极端头脱开后，行车将脱开的旧靶材吊到指定区域。工作人员将旧靶材里的磁棒抽出并更换新靶材，再用行车把新靶材吊到阴极上，然后工作人员把靶材与阴极端头固定，完成换靶工作。在旧靶材与阴极端头脱离和新靶材与阴极端头固定的整个过程中，需要行车全程辅助，且行车的大车位置始终固定在换靶小车的正上方，其它行车在做其它转运工作时无法通过此区域，只能等换靶工作结束再进行其它工作，使得工作效率极低，延长了设备停机维护时间，间接导致生产成本上涨。

发明内容

本发明的目的是提供一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，以解决上述现有技术存在的问题，提高了换靶效率，使得停机维护总时长缩短，延长了生产线的有效生产时长。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：本发明提供一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，包括龙门架、靶材放置小车和卷扬机，在换靶小车两边铺设有预埋轨道，所述龙门架的底部滑动放置在两侧的所述预埋轨道上，所述卷扬机安装在所述龙门架的顶梁上并可沿顶梁滑动，所述卷扬机传动端通过吊带连接有吊钩；所述靶材放置小车通过连接杆固定在所述龙门架的一侧并随龙门架一起移动，所述靶材放置小车用于放置旧靶材。

优选的，所述预埋轨道的长度超过换靶小车的长度和所述龙门架的支架底座长度之和。

优选的，所述龙门架由电机通过减速机驱动，且所述龙门架沿所述预埋轨道前后运动。

优选的，所述龙门架为工字钢制成的底部有连接有四个轨道轮的钢结构。

优选的，所述减速机的输出轴与所述轨道轮的轮轴传动连接，所述轨道轮的轮轴另一端通过轴承座与所述龙门架的底脚相固定。

优选的，所述靶材放置小车的顶面设置有圆形凹槽的泡沫垫。

优选的，所述靶材放置小车的底部安装有四个万向轮。

本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

本发明中辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，在更换旋转靶材的操作过程中，无行车因更换旋转靶材需在换靶小车工位长时间停滞现象，换靶效率大大提高，停机维护总时长缩短约50％，延长了生产线的有效生产时长，可为企业创造更多产值。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置工作状态的正视图；

图2为辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置工作状态的侧视图；

图3为辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置的正视图；

图4为辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置的侧视图；

其中，1顶梁；2卷扬机；3吊钩；4龙门架；5旧靶材；6泡沫垫；7靶材放置小车；8连接杆；9万向轮；10电机；11轴承座；12轨道轮；13减速机；14预埋轨道；15阴极端头；16阴极盖板；17换靶小车。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的目的是提供一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，以解决上述现有技术存在的问题，提高了换靶效率，使得停机维护总时长缩短，延长了生产线的有效生产时长。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

如图1-4所示，本发明提供一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，包括龙门架4、靶材放置小车7和卷扬机2，在换靶小车17两边铺设有预埋轨道14，龙门架4的底部滑动放置在两侧的预埋轨道14上，卷扬机2安装在龙门架4的顶梁1上并可沿顶梁1滑动，卷扬机2传动端通过吊带连接有吊钩3；靶材放置小车7通过连接杆8固定在龙门架4的一侧并随龙门架4一起移动，靶材放置小车7用于放置旧靶材5。

在换靶小车17两边铺设预埋轨道14，轨道长度应超过换靶小车17长度和本装置龙门架4支架底座长度之和。一个由工字钢作顶梁1并且底部有四个轨道轮12的钢结构龙门架4放置在轨道上。龙门架4由电机10通过减速机13驱动，可以沿轨道方向前进或后退。在龙门架4的工字钢梁上装有一个可延工字钢长度方向行走的卷扬机2(最大起重重量≥500kg)。在龙门架4支架一边，有一个与其相连的靶材放置小车7，小车上面有圆形凹槽的泡沫垫6，下方有四个万向轮9。靶材放置小车7随龙门架4在地面沿轨道方向前进或后退。

用本装置更换靶材的操作：阴极盖板16在换靶小车17上反转后，将龙门架4移至换靶小车17中间位置；卷扬机2通过吊带拉住靶材，操作人员将旧靶材5与阴极端头15脱离，卷扬机2吊着旧靶材5延工字钢梁方向移动到靶材放置小车7上方，卷扬机2的吊钩3下降将旧靶材5放置在小车上。操作人员抽出旧靶材5里的磁棒，移走旧靶材5并将新靶材放置在小车上，然后塞入磁棒。卷扬机2通过吊带把新靶材吊至阴极端头15处，操作人员将靶材与阴极端头15固定，取下吊带完成更换旋转靶材操作流程。龙门架4移至离开换靶小车17的位置，阴极盖板16反转后即可用行车吊走进行其它工作流程。

本装置的优点是，在更换旋转靶材的操作过程中，在行车将阴极盖板16吊上换靶小车17后，即可离开进行其它需要行车的转运工作，靶材的更换操作可以用本装置完成，且本装置高度(约3m)远低于行车下方净空高度(约7.5m)，所以行车自由行走不受影响。在镀膜线停机维护的期间，无行车因更换旋转靶材需在换靶小车17工位长时间停滞现象，换靶效率大大提高，停机维护总时长缩短约50％，延长了生产线的有效生产时长，可为企业创造更多产值。

本发明中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。