阅读说明：本技术 一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置 (Winding type fiber coating magnetron sputtering device ) 是由 马毅 谢续友 黄先伟 俞越翎 张泰华 于 2019-12-05 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置,包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座,所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置设有卷绕式纤维镀膜装置,所述卷绕式纤维镀膜装置包括卷绕装置及丝架装置,所述卷绕装置对纤维丝线进行放卷,并通过丝架装置进行张开后再通过卷绕装置对纤维丝线进行收卷。本发明的有益效果是：该装置设计结构简单合理,使用方便,应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜,纤维丝线在滑轮之间绕动,使纤维丝线上圆柱表面与下圆柱表面都能镀到膜,保证了纤维镀膜的全面性与均匀性,对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。(The invention discloses a winding type fiber coating magnetron sputtering device which comprises a fiber silk thread, a vacuum cavity, a lifting platform and a target support, wherein a winding type fiber coating device is arranged in the vacuum cavity and positioned on one side of the target support, the winding type fiber coating device comprises a winding device and a wire frame device, the winding device unwinds the fiber silk thread, and the fiber silk thread is wound by the winding device after being unfolded by the wire frame device. The invention has the beneficial effects that: the device design simple structure is reasonable, and convenient to use uses this device to carry out magnetron sputtering coating film for the fibre, and the fibre silk thread moves around between the pulley, makes the cylindrical surface on the fibre silk thread and can both plate the membrane with lower cylindrical surface, has guaranteed the comprehensiveness and the homogeneity of fibre coating film, has important meaning to the manufacturing field of fibre coating film.)

一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置

技术领域

本发明涉及真空磁控溅射镀膜技术领域，具体涉及一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置。

背景技术

纤维镀膜在实际应用中具有很大的价值，镀金属纤维是一种以金属为皮、非金属纤维为芯的复合纤维，镀金属纤维按镀膜金属可分为：镀锌、镀银、镀铝、镀镍、镀铜等，它除仍保留原有芯纤维的柔曲性及机械力学性能外，根据镀层的不同，还具有对电磁波及红外线的反射性能、导电性及延长使用寿命等优点。如镀金属玻璃纤维具有良好的电磁波反射性能，因此在军事上用作对抗雷达的干扰丝，此外镀银的玻璃纤维能焊接，可作导线；镀铝的玻璃纤维能反射大量的热能，可作高温防护衣等。

在现有技术中，通常需要利用电化学方法在纤维上镀膜，但是这种方法镀铝时，容易造成污染，并且铝膜并不是很致密。本装置涉及的磁控溅射是物理气相沉积的一种，具有膜层附着力强的优点，且对环境没有污染。但由于纤维的细小，在磁控溅射镀膜中，就很难保证纤维表面能够全面均匀地镀膜，因此，如何保证镀膜的全面性与均匀性，成为本发明亟待解决的技术问题。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，本发明的目的在于提供一种实现提高镀膜全面性与均匀性的卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置。

本发明的技术方案如下：

一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座，其特征在于，所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置设有卷绕式纤维镀膜装置，所述卷绕式纤维镀膜装置包括卷绕装置及丝架装置，所述卷绕装置对纤维丝线进行放卷，并通过丝架装置进行张开后再通过卷绕装置对纤维丝线进行收卷。

所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述卷绕装置包括电机、支撑座、小齿轮、大齿轮、传动轴、卷筒及支撑座，所述小齿轮设置在电机上，且小齿轮与大齿轮啮合设置，所述传动轴穿设在支撑座上，且其一端与大齿轮相连，另一端与卷筒相连。

所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述丝架装置包括支撑架、滑杆及滑轮组，所述滑轮组包括滑轮一、滑轮二及滑轮三，所述滑轮一及滑轮二分别设置在支撑架上，所述滑轮三设置在滑杆上。

所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述卷筒由上下两线槽组成，其中下线槽底部设有截面为矩形的伸出端，并通过伸出端直接***传动轴之中，从而实现连接与传动。

所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述滑杆可在支撑架上水平滑动，所述支撑架上设有预紧螺钉，通过预紧螺钉能够调节滑杆的水平位置，从而起到预紧的作用。

所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述滑轮一与滑轮三设置在同一平面，滑轮二与滑轮一、滑轮三均不在同一个平面上。

本发明的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜，纤维丝线在滑轮之间绕动，使纤维丝线上圆柱表面与下圆柱表面都能镀到膜，保证了纤维镀膜的全面性与均匀性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。

附图说明

图1为本发明的安装示意图；

图2为本发明的局部结构图；

图3为本发明的丝架结构图；

图中：1-密封盖，2-升降台，3-丝架，4-卷筒，5-支撑轴承，6-支撑座，7-传动轴，8-大齿轮，9-小齿轮，10-电机，11-纤维丝线，12-靶材支座，13-靶材，14-腔体，15-预紧螺钉，16-滑轮一，17-支撑架，18-滑轮二，19-滑杆，20-滑轮三。

具体实施方式

以下结合说明书附图对本发明的技术方案做进一步的描述：

如图1-3所示，一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置包括真空腔体14、设置在密封盖1上的升降台2及设置在腔体14底部的靶材支座12，所述靶材13放置在靶材支座12上，靶材13上连接阴极，升降台2上连接着阳极，通电后，靶材13上溅射出的靶原子，一部分撞击在纤维丝线11上，最后在纤维丝线11的表面沉积。

卷绕式纤维镀膜装置，包括卷绕装置与丝架装置，卷绕装置中由电机10、小齿轮9、大齿轮8、传动轴7、卷筒4组成传动系统，由电机10带动小齿轮9的转动，小齿轮9带动大齿轮8转动，大齿轮8通过键连接带动传动轴7转动；而卷筒4伸出端的截面为矩形，通过直接***传动轴7的矩形槽中，实现传动轴7带动卷筒4的转动。支撑轴承5放置在支撑座6的沉孔中，对整个卷绕装置进行受力支撑，而支撑座6又通过螺钉固定在腔体14表面。丝架装置包括支撑架17、滑杆19、预紧螺钉15、滑轮组，滑轮组包括滑轮一16、滑轮二18、滑轮三20，丝架通过直接***与支撑座6相连，滑轮焊接在支撑架17与滑杆19上，滑轮的表面的粗糙度要求高，使纤维丝线11与滑轮之间的磨损尽可能小；同时，滑轮二18与滑轮一16、滑轮三20不在一个平面上，当纤维丝线11在滑轮组上滑动时，上段纤维丝线11与下段纤维丝线11错开，保证了纤维丝线11的上圆柱表面与下圆柱表面都能镀到膜。

工作过程：

首先，将纤维丝线11缠绕在卷筒4的上线槽中，将卷筒4***传动轴7中，然后，将纤维丝线11依次绕过滑轮一16、滑轮三20、滑轮二18，最后，将纤维丝线11的端头固定在卷筒4的下线槽上。调节预紧螺钉15，使滑杆19向右滑动，使得纤维丝线11处于稍微拉紧的状态。密封盖1合上后，启动设备，当设备正常工作时，真空泵开始抽出气体，达到一定真空度后，控制升降台2下降，达到指定的高度。施加电场，靶材13上溅射出的靶原子一部分撞击在纤维丝线11上并沉积，启动电机10，电机10逆时针转动带动卷筒4转动，上线槽送出纤维丝线11，下线槽卷收纤维丝线11，纤维丝线11表面镀膜开始进行。