具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

根据图1-4所示，一种锂电池正极材料制备装置，包括有安装舱体1、支撑脚座2、加料系统3、退火系统4、调速配合系统5、磁控溅射镀膜系统6、安装顶板7、第一侧机板9、第二侧机板10、第一真空控制管11、粗糙度检测仪12和矩形出料筒13；安装舱体1底部安装有若干个支撑脚座2；安装舱体1左前部安装有用于加入并存放铝箔原料的加料系统3；安装舱体1内后部安装有用于退火的退火系统4；安装舱体1内中部安装有用于调整单位长度铝箔溅射时间的调速配合系统5；调速配合系统5上侧连接退火系统4；安装舱体1内上部安装有安装顶板7；安装舱体1内前部安装有用于对铝箔镀膜的磁控溅射镀膜系统6；磁控溅射镀膜系统6后侧连接退火系统4；磁控溅射镀膜系统6顶部连接安装顶板7；退火系统4上部连接安装顶板7；安装舱体1前部可拆卸的安装有第一侧机板9；安装舱体1后部可拆卸的安装有第二侧机板10；安装舱体1顶部左侧连通有第一真空控制管11；铝箔原材8依次经过加料系统3、磁控溅射镀膜系统6、调速配合系统5和退火系统4；安装舱体1内前壁中部安装有粗糙度检测仪12；安装舱体1左壁后侧连通有矩形出料筒13。

在使用该锂电池正极材料制备装置时，首先打开加料系统3，将缠绕有铝箔原材8的放料辊固定至加料系统3，然后将第一侧机板9和第二侧机板10拆下，人工将铝箔原材8的首端抽出，人工拉动铝箔原材8依次经过加料系统3、磁控溅射镀膜系统6、调速配合系统5和退火系统4，铝箔原材8从矩形出料筒13中被拉出，将铝箔原材8的首端拉出固定至外部的真空收卷机，待铝箔原材8的首端固定完成后，将矩形出料筒13连接真空收卷机的进料筒形成封闭通道，然后关闭加料系统3，并将第一侧机板9和第二侧机板10重新安装至安装舱体1上原位置，使安装舱体1重新成为密封状态，将外部空气泵通过管道连接至第一真空控制管11，通过外部空气泵使得安装舱体1内部形成真空负压状态，此时接通该锂电池正极材料制备装置的电源，控制退火系统4提供动力带动铝箔原材8从加料系统3中持续放出，铝箔原材8首先经过粗糙度检测仪12，粗糙度检测仪12对铝箔原材8表面的粗糙进行检测，然后铝箔原材8首先经过磁控溅射镀膜系统6，磁控溅射镀膜系统6依次对铝箔原材8的两个面进行磁控溅射镀铝膜，溅射完成后铝箔原材8经过调速配合系统5的传送进入到退火系统4进行退火，当粗糙度检测仪12检测到铝箔原材8表面的粗糙度发生变化时，则此时粗糙度检测仪12会发出信号控制退火系统4带动调速配合系统5对铝箔原材8进行传送速率调整，在铝箔原材8表面的粗糙度增大时，即调速配合系统5会减慢铝箔原材8的传送速度，进而延长铝箔原材8表面粗糙度增大位置的磁控溅射的时间，使得粗糙度增大的位置可以被均匀平整镀膜，铝箔原材8镀膜完成的部分经过退火系统4，进行加热退火的过程，进而消除铝箔自身的应力，最后铝箔原材8在镀铝膜完成后直接进入到真空收卷机中被收集，实现了对铝箔的连续磁控溅射镀膜，在镀膜过程中自动对铝箔的表面粗糙度进行检测，当检测到粗糙度增大时，可实现对铝箔传送镀膜速度的调控，从而延长镀膜时间，保证铝箔表面粗糙的位置也被平整镀膜，使得铝箔表面的镀铝膜平整连续的效果。

实施例2

在实施例1的基础上，根据图1和图5-7所示，加料系统3包括有加料舱301、开启门302、把手306、转动底盘座307、第一电动推杆308、转动顶盘座309、第八传送辊3010、第二电动推杆3011、密封条板3012、限位滑轨3013和第二真空控制管3014；安装舱体1左前部安装有加料舱301；加料舱301左侧中部铰接有开启门302；开启门302前侧右部螺栓连接有把手306；加料舱301内底壁安装有转动底盘座307；加料舱301内顶壁安装有第一电动推杆308；第一电动推杆308的伸缩端转动连接有转动顶盘座309；加料舱301内右前部转动连接有第八传送辊3010；加料舱301内右壁安装有两个第二电动推杆3011；两个第二电动推杆3011的伸缩端固接有密封条板3012；加料舱301内右壁安装有两个限位滑轨3013；两个限位滑轨3013位于两个第二电动推杆3011的前方；两个限位滑轨3013之间滑动连接密封条板3012；加料舱301左侧后部连通有第二真空控制管3014；加料舱301右壁前侧开有一个用于铝箔原材8出料的矩形通孔。

首先通过把手306打开开启门302，然后将缠绕有铝箔原材8的放料辊定位放置到转动底盘座307顶部，使转动底盘座307顶部的凸起部分插入至缠绕有铝箔原材8的放料辊的底部，然后控制第一电动推杆308向下伸长，进而第一电动推杆308带动转动顶盘座309向下运动，进而转动顶盘座309向下运动抵住缠绕有铝箔原材8的放料辊顶部，进而将缠绕有铝箔原材8的放料辊牢牢固定，然后将铝箔原材8的首端从加料舱301右壁前侧的矩形通孔中拉出，然后关闭开启门302，然后控制两个第二电动推杆3011伸长带动密封条板3012移动，即密封条板3012在两个限位滑轨3013内侧滑动，进而密封条板3012会运动至加料舱301右壁前侧的矩形通孔处，密封条板3012将此矩形通孔遮盖并预留出使得铝箔原材8可以顺利通过的间隙，将外部空气泵通过管道连接至第二真空控制管3014，控制空气泵运行使得加料舱301内部形成真空负压状态，进而在退火系统4对铝箔原材8的拉扯作用下，缠绕有铝箔原材8的放料辊开始在转动底盘座307和转动顶盘座309的支撑作用下持续转动，将铝箔原材8放出，完成铝箔的加料和放料。

实施例3

在实施例2的基础上，根据图1和图8-12所示，退火系统4包括有顶部通风管401、空心筒402、齿环403、底部通风管404、电机座板405、第一动力电机406、第一转轴杆407、第一锥齿轮408、轴承架板409、平齿轮4010、第一安装架板4011、转动套环4012、第二安装架板4013、加热喷枪组件4014、调速传动组件、第九传送辊4027和第十传送辊4028；安装舱体1内底壁后侧安装有三个第一安装架板4011；三个第一安装架板4011呈三角形分布；三个第一安装架板4011之间固接有两个转动套环4012；两个转动套环4012为上下对称设置；两个转动套环4012内侧转动连接有空心筒402；安装舱体1上部后侧连通有顶部通风管401；顶部通风管401底部转动连接空心筒402；空心筒402外环面上侧固接有齿环403；安装舱体1右后部连通有底部通风管404；底部通风管404顶部转动连接空心筒402；安装舱体1顶部右后侧螺栓连接有电机座板405；电机座板405左侧螺栓连接有第一动力电机406；第一动力电机406的输出轴转动连接安装舱体1；第一动力电机406的输出轴固接有第一转轴杆407；第一转轴杆407外表面中部固接有第一锥齿轮408；安装舱体1内后壁螺栓连接有轴承架板409；轴承架板409转动连接第一转轴杆407；第一转轴杆407外表面下部固接有平齿轮4010；平齿轮4010啮合齿环403；安装舱体1内底壁右侧螺栓连接有第二安装架板4013；第二安装架板4013上安装有加热喷枪组件4014；加热喷枪组件4014右部穿过安装舱体1；安装顶板7右侧连接有调速传动组件；第一锥齿轮408连接调速传动组件；调速传动组件顶部连接安装舱体1；调速传动组件前侧连接磁控溅射镀膜系统6；调速传动组件下侧连接调速配合系统5。

人工将铝箔原材8的首端抽出，人工拉动铝箔原材8依次经过加料系统3、磁控溅射镀膜系统6、调速配合系统5和退火系统4，即此时铝箔原材8经过调速配合系统5之后从空心筒402外环面右侧绕过，从空心筒402外环面左侧离开，然后从第九传送辊4027前侧绕过，又向后从第十传送辊4028右侧绕过，最后铝箔原材8从空心筒402左后侧进入到矩形出料筒13中，然后进入到真空收卷机中被收集，在人工将铝箔原材8初次拉出定位完成后，控制接通第一动力电机406电源，然后第一动力电机406带动第一转轴杆407进行转动，第一转轴杆407带动第一锥齿轮408和平齿轮4010进行转动，平齿轮4010会通过调速传动组件分别带动调速配合系统5和磁控溅射镀膜系统6进行运转，然后平齿轮4010会带动齿环403进行转动，进而齿环403带动空心筒402进行转动，进而空心筒402转动拉扯带动铝箔原材8，在铝箔原材8受到拉力后，缠绕有铝箔原材8的放料辊会持续转动，使得铝箔原材8不断放出，将加热喷枪组件4014左部的管道接通连接外界的燃料供应器，然后控制加热喷枪组件4014开始喷火，即加热喷枪组件4014喷出火对从空心筒402左侧绕过的铝箔原材8进行快速加热，当铝箔原材8离开加热喷枪组件4014的位置时，此时铝箔原材8将其热量快速传导给空心筒402，空心筒402内部的空间上下分别通过顶部通风管401和底部通风管404连接外界，进而空心筒402上的热量会传导至其内部的空气中，然后空心筒402内被加热的空气会通过顶部通风管401和底部通风管404通过将热量传导至外界，进而当铝箔原材8在被加热喷枪组件4014加热后，在空心筒402外环面后侧的位置实现快速散热降温冷却，然后铝箔又依次经过第九传送辊4027和第十传送辊4028进行散热降温，实现铝箔快速加热后的快速降温退火。

调速传动组件包括有第二锥齿轮4015、第二转轴杆4016、第五安装架板4017、第三安装架板4018、锥形摩擦传动辊4019、传动花键轴4020、花键轴套4021、摩擦传动盘4022、移动连接座4023、内螺纹滑动套4024、丝杆4025、第二动力电机4026、第三锥齿轮4029和第四锥齿轮4030；安装舱体1内顶壁右侧螺栓连接有第五安装架板4017和第三安装架板4018，并且第五安装架板4017位于第三安装架板4018的右后方；第三安装架板4018左前侧固接安装顶板7；第五安装架板4017左部转动连接有第二转轴杆4016；第二转轴杆4016上固接有第二锥齿轮4015；第二锥齿轮4015啮合第一锥齿轮408；第二转轴杆4016前侧转动连接第三安装架板4018；第二转轴杆4016上固接有锥形摩擦传动辊4019；第五安装架板4017位于第二锥齿轮4015和锥形摩擦传动辊4019之间；第五安装架板4017和第三安装架板4018之间中部转动连接有传动花键轴4020；传动花键轴4020外表面前侧固接有第三锥齿轮4029；传动花键轴4020外表面后侧传动连接有花键轴套4021；花键轴套4021外表面中部固接有摩擦传动盘4022；摩擦传动盘4022左侧接触传动连接锥形摩擦传动辊4019；第三安装架板4018前侧右部螺栓连接有第二动力电机4026；第二动力电机4026输出轴固接有丝杆4025；丝杆4025后部转动连接第五安装架板4017；丝杆4025后端固接有第四锥齿轮4030；第四锥齿轮4030下侧连接调速配合系统5；第三锥齿轮4029下侧连接磁控溅射镀膜系统6；丝杆4025外表面旋接有内螺纹滑动套4024；内螺纹滑动套4024外表面固接有移动连接座4023；移动连接座4023左部转动连接花键轴套4021。

第一转轴杆407带动第一锥齿轮408进行转动，然后第一锥齿轮408带动第二锥齿轮4015进行转动，然后第二锥齿轮4015带动第二转轴杆4016进行转动，进而第二转轴杆4016带动锥形摩擦传动辊4019进行转动，然后锥形摩擦传动辊4019通过摩擦力带动摩擦传动盘4022进行转动，然后摩擦传动盘4022带动传动花键轴4020和花键轴套4021进行转动，传动花键轴4020会带动第三锥齿轮4029进行转动，第三锥齿轮4029带动磁控溅射镀膜系统6进行运转，此时当粗糙度检测仪12检测到铝箔原材8的粗糙度增加时，为了保证铝箔原材8表面粗糙的位置也可以被平整的镀上铝膜，则需要延长铝箔相应粗糙的位置的溅射时间，则此时控制第二动力电机4026进行转动，然后第二动力电机4026带动丝杆4025进行转动，丝杆4025转动带动内螺纹滑动套4024进行移动，然后内螺纹滑动套4024带动花键轴套4021、摩擦传动盘4022和移动连接座4023进行移动，即花键轴套4021沿着传动花键轴4020向前移动，即摩擦传动盘4022贴合着锥形摩擦传动辊4019的外环面向前运动，由此当摩擦传动盘4022与锥形摩擦传动辊4019接触位置移动发生变化，摩擦传动盘4022与锥形摩擦传动辊4019接触位置的半径逐渐减小，而锥形摩擦传动辊4019自身的转速不变，因此当摩擦传动盘4022与锥形摩擦传动辊4019接触位置的半径减小时，摩擦传动盘4022的转速减小，进而传动花键轴4020和花键轴套4021的转速减小，第三锥齿轮4029转速减小，实现第三锥齿轮4029带动磁控溅射镀膜系统6的减速，同时丝杆4025带动第四锥齿轮4030进行转动，第四锥齿轮4030带动调速配合系统5运转保持铝箔原材8的紧绷，对于铝箔原材8表面粗糙程度不同的位置，可控制摩擦传动盘4022贴合着锥形摩擦传动辊4019的外环面移动至不同的位置，实现对摩擦传动盘4022的无级调速，即第三锥齿轮4029带动磁控溅射镀膜系统6可实现传送铝箔原材8速度的无级调整，进而针对铝箔原材8不同粗糙度的表面位置可以实时调整磁控溅射镀膜系统6的磁控溅射的时间，使得铝箔原材8表面不同粗糙程度的位置均可被平整镀膜。

锥形摩擦传动辊4019的母线与传动花键轴4020和丝杆4025的中轴线的方向平行。

使得花键轴套4021和摩擦传动盘4022在传动花键轴4020外侧移动过程中，保证摩擦传动盘4022的运动方向与锥形摩擦传动辊4019的母线平行，使得摩擦传动盘4022的外环面可以时刻保持与锥形摩擦传动辊4019的表面完全接触。

实施例4

在实施例3的基础上，根据图1和图13-15所示，调速配合系统5包括有第一安装条板501、第一轴承座板502、第一传送辊503、第四安装架板504、第二安装条板505、第二轴承座板506、第三转轴杆507、第一锥齿盘508、第三轴承座板509、第一缠绕轮5010、控制绳5011、第一连接套5012、第一滑动座5013、第一限位滑柱5014、第一复位弹簧5015、第二缠绕轮5016、第二连接套5017、第二滑动座5018、第二限位滑柱5019、第二复位弹簧5020、第二传送辊5021、第三滑动座5022、第三传送辊5023和第四滑动座5024；安装舱体1内右壁下部固接有第一安装条板501；第一安装条板501左端固接有第四安装架板504；第四安装架板504底部固接安装舱体1；第四安装架板504顶部固接有第二安装条板505；第二安装条板505右端固接安装舱体1；第一安装条板501中右侧和第二安装条板505的中右侧各固接有一个第一轴承座板502；两个第一轴承座板502之间转动连接有第一传送辊503；第二安装条板505顶部右侧螺栓连接有第二轴承座板506；第二轴承座板506上部转动连接有第三转轴杆507；第三转轴杆507外表面顶部固接有第一锥齿盘508；第一锥齿盘508啮合第四锥齿轮4030；安装舱体1右侧中部螺栓连接有第三轴承座板509；第三轴承座板509左部转动连接第三转轴杆507；第三转轴杆507外表面底部固接有第一缠绕轮5010；第一缠绕轮5010外环面左侧固接有控制绳5011；第四安装架板504顶部转动连接有第二缠绕轮5016；控制绳5011外表面右部固接有第一连接套5012；第二安装条板505顶部右侧螺栓连接有第一限位滑柱5014；第一限位滑柱5014外表面滑动连接有第一滑动座5013；第二安装条板505右部开有一个贯穿槽，第一滑动座5013滑动设置在第二安装条板505右部贯穿槽内；第一滑动座5013上部固接第一连接套5012；第一限位滑柱5014外表面套设有第一复位弹簧5015；第一复位弹簧5015的左端固接第一滑动座5013，第一复位弹簧5015的右端固接于第一限位滑柱5014的左部；控制绳5011从第二缠绕轮5016外环面左侧绕过，并且控制绳5011绕过第二缠绕轮5016的一端固接有第二连接套5017；第二安装条板505顶部左侧螺栓连接有第二限位滑柱5019；第二限位滑柱5019外表面滑动连接有第二滑动座5018；第二限位滑柱5019上部固接第二连接套5017；第二限位滑柱5019外表面套设有第二复位弹簧5020；第二复位弹簧5020的右端固接第二滑动座5018，第二复位弹簧5020的左端固接于第二限位滑柱5019的左部；第二安装条板505左部开有一个贯穿槽，第二滑动座5018滑动设置在第二安装条板505右部贯穿槽内；第一安装条板501左部滑动连接有第三滑动座5022；第二滑动座5018和第三滑动座5022之间转动连接有第二传送辊5021；第一安装条板501右部滑动连接有第四滑动座5024；第一滑动座5013和第四滑动座5024之间转动连接有第三传送辊5023。

正常运行状态下，铝箔原材8从第三传送辊5023右侧向后绕过，然后又从第二传送辊5021的左侧向后绕过，然后又从第一传送辊503的右侧向前绕过，然后铝箔原材8即可继续从空心筒402外环面右侧绕过，当调速传动组件控制磁控溅射镀膜系统6传送铝箔原材8的速度降低时，第四锥齿轮4030会同步带动第一锥齿盘508进行转动，然后第一锥齿盘508带动第三转轴杆507进行转动，然后第三转轴杆507带动第一缠绕轮5010进行转动，进而第一缠绕轮5010转动将控制绳5011缠绕至其外环面，同时控制绳5011的另一端绕过第二缠绕轮5016变向同步发生运动，即控制绳5011将第一连接套5012向右拉扯，并将第二连接套5017向左拉扯，第一连接套5012会带动第一滑动座5013在第二安装条板505上向右滑动，进而第一滑动座5013带动第三传送辊5023向右运动，同时第三传送辊5023带动第四滑动座5024在第一安装条板501上向右滑动，实现了第三传送辊5023向右的平稳运动，同时第二连接套5017带动第二滑动座5018在第二安装条板505上向左滑动，进而第二滑动座5018带动第二传送辊5021向左运动，同时第二传送辊5021带动第三滑动座5022向左运动，即实现第二传送辊5021和第三传送辊5023的相互远离，第一复位弹簧5015和第二复位弹簧5020被压缩，进而当退火系统4降低磁控溅射镀膜系统6传送铝箔原材8的速度时，为了保证铝箔原材8保持紧绷不影响工作，当调速传动组件控制磁控溅射镀膜系统6传送铝箔原材8的速度降低时，第二传送辊5021和第三传送辊5023会根据速度的实时变化相互远离至不同的间距，保证铝箔原材8时刻保持紧绷。

实施例5

在实施例4的基础上，根据图1和图16-19所示，磁控溅射镀膜系统6包括有第四转轴杆601、第一传动轮602、第一溅射辊603、第五转轴杆604、第二溅射辊605、第二传动轮606、第四传送辊607、第五传送辊608、第六传送辊609、第七传送辊6010、第一导通片6011、第一接地导线6012、第二导通片6013、第二接地导线6014、第一溅射舱板6015、第一离子源6016、第一靶材6017、第二溅射舱板6018、第二离子源6019、第二靶材6020和第二锥齿盘6021；安装舱体1内底壁前侧转动连接有第四转轴杆601和第五转轴杆604，并且第五转轴杆604位于第四转轴杆601的右方；第四转轴杆601顶部转动连接安装顶板7；第五转轴杆604顶部转动连接安装顶板7；第四转轴杆601外表面上部固接有第一传动轮602；第四转轴杆601外表面固接有第一溅射辊603；第五转轴杆604外表面固接有第二溅射辊605；第五转轴杆604外表面上部固接有第二传动轮606和第二锥齿盘6021，并且第二锥齿盘6021位于第二传动轮606的上方；第二传动轮606通过交叉皮带传动连接第一传动轮602；第二锥齿盘6021啮合第三锥齿轮4029；安装舱体1内底壁前侧转动连接有第四传送辊607，并且第四传送辊607位于第二溅射辊605右前方；第四传送辊607顶部转动连接安装顶板7；安装舱体1内底壁前侧分别转动连接有第五传送辊608、第六传送辊609和第七传送辊6010，第五传送辊608位于第一溅射辊603的左后方，第六传送辊609和第七传送辊6010均位于第一溅射辊603的右后方，而且第七传送辊6010位于第六传送辊609的右后方；安装舱体1下部前侧安装有第一接地导线6012和第二接地导线6014，第一接地导线6012和第二接地导线6014均设置有硬质支撑外壳；第一接地导线6012上部连接有第一导通片6011；第二溅射辊605右侧下部接触连接第一导通片6011；第二接地导线6014上部连接有第二导通片6013；第一溅射辊603右侧下部接触连接第二导通片6013；安装舱体1内右壁前部安装有第一溅射舱板6015；第一溅射舱板6015的凹弧部设置有第一离子源6016；第一溅射舱板6015的凹弧部等距设置有若干个第一靶材6017；第一离子源6016位于若干个第一靶材6017的前方；安装舱体1内前壁安装有第二溅射舱板6018；第二溅射舱板6018的凹弧部设置有第二离子源6019；第二溅射舱板6018的凹弧部等距设置有若干个第二靶材6020；第二离子源6019位于若干个第二靶材6020的右方。

首先将第一接地导线6012和第二接地导线6014接地，人工将铝箔原材8的首端从加料系统3中抽出，铝箔原材8从第四传送辊607前侧向右绕过，然后从第二溅射辊605右侧向后绕过，又从第一溅射辊603右侧向前绕过，从第五传送辊608左侧向后绕，然后绕过第七传送辊6010的前侧，之后铝箔原材8即可绕过，人工拉动铝箔原材8依次经过加料系统3、磁控溅射镀膜系统6、调速配合系统5和退火系统4，即此时铝箔原材8经过调速配合系统5之后从空心筒402外环面右侧绕过第三传送辊5023，在运行过程中第三锥齿轮4029会带动第二锥齿盘6021进行转动，进而第二锥齿盘6021带动第五转轴杆604进行转动，然后第五转轴杆604带动第二传动轮606和第二溅射辊605进行转动，然后第二传动轮606带动第一传动轮602进行转动，此时第一传动轮602带动第四转轴杆601进行转动，第四转轴杆601带动第一溅射辊603进行转动，即此时第一溅射辊603和第二溅射辊605进行反向转动，当铝箔原材8首先经过第一溅射舱板6015时，第一离子源6016对铝箔原材8表面进行等离子体轰击处理，剥离铝箔原材8表面氧化层、去除表面尖峰，降低铝箔表面粗糙度，在此过程中第二溅射辊605通过第一导通片6011和第一接地导线6012接地，第一溅射辊603通过第二导通片6013和第二接地导线6014接地，而第一靶材6017和第二靶材6020均接通阴极，然后又经过第一靶材6017，此时由于第二溅射辊605为接地极，然后第一靶材6017会被轰击至铝箔原材8表面形成薄膜铝，同理铝箔原材8又经过第二溅射舱板6018，第二离子源6019对铝箔原材8另一个面进行等离子体轰击处理，剥离氧化层，同样经过第二靶材6020使，第二靶材6020会被轰击至铝箔原材8的另一个表面，由此实现对铝箔原材8两面的磁控溅射镀膜。

第一溅射辊603和第二溅射辊605上均开有若干个贯穿的柱状散热腔室，并且每个柱状散热腔室内壁等距设置有若干个散热片。

使得第一溅射辊603和第二溅射辊605在传动铝箔原材8的过程中，铝箔原材8与第一溅射辊603和第二溅射辊605接触时，铝箔原材8可以将溅射过程中的热量传导给第一溅射辊603和第二溅射辊605，并通过散热片将热量散出。

第一离子源6016的水平位置位于第一溅射舱板6015竖直方向上的中间位置，第二离子源6019的水平位置也位于第二溅射舱板6018竖直方向上的中间位置。

使得第一离子源6016和第二离子源6019在对铝箔原材8进行等离子体轰击时，使铝箔原材8上半部分和下半部分受到的等离子体轰击同步并且均匀。

加料系统3还包括有安装转轴303、卡板304和转动手杆305；加料舱301前侧右部转动连接有安装转轴303；安装转轴303外表面后侧固接有卡板304，并且卡板304的后侧面与开启门302的前侧面位于同一个竖直平面内。

在使用时当关闭开启门302之后，此时可扳动转动手杆305带动安装转轴303进行转动，然后安装转轴303带动卡板304向左转动，即卡板304转动至开启门302右侧与其接触的位置，使得卡板304从外侧将开启门302卡住，对开启门302形成有效固定。

以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。