一种电子束蒸发台工艺腔体自动化炉门
阅读说明：本技术 一种电子束蒸发台工艺腔体自动化炉门 (Automatic furnace door of process cavity of electron beam evaporation table ) 是由 马溢华 赵志强 于 2021-08-20 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种电子束蒸发台工艺腔体自动化炉门,其技术方案是：包括固定块,所述固定块一侧设有移动块,所述移动块一侧设有炉门安装块,所述炉门安装块一侧设有连接机构；所述连接机构包括第一轴销块,所述第一轴销块设于炉门安装块一侧,所述第一轴销块一侧固定连接有轴销连接杆,所述轴销连接杆一侧设有第二轴销块,所述第二轴销块一侧固定连接有连接卡盘,所述连接卡盘一侧设有弹簧按钮,所述弹簧按钮一端延伸入第二轴销块内部,本发明的有益效果是：炉门铰链足够坚固,能够承受炉门自身的轴向重力,铰链承受很强的径向拉力,可以前后间距可调,稳定性更强,同时安装和拆卸起来更加方便,连接机构支撑力更强。(The invention discloses an automatic furnace door of a process cavity of an electron beam evaporation table, which adopts the technical scheme that: the furnace door fixing device comprises a fixed block, wherein a moving block is arranged on one side of the fixed block, a furnace door mounting block is arranged on one side of the moving block, and a connecting mechanism is arranged on one side of the furnace door mounting block; the connecting mechanism comprises a first shaft pin block, the first shaft pin block is arranged on one side of the furnace door mounting block, a shaft pin connecting rod is fixedly connected to one side of the first shaft pin block, a second shaft pin block is arranged on one side of the shaft pin connecting rod, a connecting chuck is fixedly connected to one side of the second shaft pin block, a spring button is arranged on one side of the connecting chuck, and one end of the spring button extends into the second shaft pin block, so that the furnace door connecting mechanism has the beneficial effects that: the furnace door hinge is firm enough, can bear the axial gravity of furnace door self, and the hinge bears very strong radial tension, and interval is adjustable around can, and stability is stronger, and it is more convenient that the installation gets up with the dismantlement simultaneously, and coupling mechanism holding power is stronger.)
技术领域
本发明涉及半导体设备制造领域，具体涉及一种电子束蒸发台工艺腔体自动化炉门。
背景技术
电子束蒸发台是一种用于物理学领域的核仪器，可将半导体芯片金属化，金属化是半导体芯片制造过程中在绝缘介质薄膜上沉积金属薄膜以及随后刻印图形以便形成金属互连金属线和集成电路的孔填充塞的过程，半导体制造设备电子束蒸发台是将待蒸发的材料放置进坩埚，在真空系统中用电子束加热并使其蒸发，撞击到硅片表面凝结形成金属薄膜，在一个高真空腔体内蒸镀金属膜，工艺腔体要安装一套电子枪，四个坩埚旋转机构蒸镀不同金属，两套加热灯，一套行星盘装置的固定安装，冷却水管路等等。
现有技术存在以下不足：现有的设备炉门都是采用优质不锈钢材质焊接而成，为了保证密封性，在焊接法兰焊接时要考虑炉门的受热形变等因素，不得不加固加厚板材的厚度，在生产中炉门铰链是要频繁的开合的，所以铰链的可调节，稳定性是很有必要的，普通的炉门铰链多为一体式，无法进行调节，需要维修时需要将炉门的铰链完全拆掉才能将炉门卸下，导致安装和拆卸起来非常的麻烦不方便，电子束蒸发台炉门铰链使用过程中炉门难吸合，工艺腔体高真空不好，炉门难调整。
因此，发明一种电子束蒸发台工艺腔体自动化炉门很有必要。
发明内容
为此，本发明提供一种电子束蒸发台工艺腔体自动化炉门，通过一种炉门铰链，以解决生产中炉门铰链是要频繁的开合的，普通的炉门铰链多为一体式，无法进行调节，且稳定性差，需要维修时需要将炉门的铰链完全拆掉才能将炉门卸下，导致安装和拆卸起来非常的麻烦不方便的问题。
为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种电子束蒸发台炉门铰链，包括固定块，所述固定块一侧设有移动块，所述移动块一侧设有炉门安装块，所述炉门安装块一侧设有连接机构；
所述连接机构包括第一轴销块，所述第一轴销块设于炉门安装块一侧，所述第一轴销块一侧固定连接有轴销连接杆，所述轴销连接杆一侧设有第二轴销块，所述第二轴销块一侧固定连接有连接卡盘，所述连接卡盘一侧设有弹簧按钮，所述弹簧按钮一端延伸入第二轴销块内部，所述轴销连接杆一侧固定连接有连接柱，所述连接柱外部套设有圆形滑动卡块，所述连接柱与圆形滑动卡块滑动连接，所述圆形滑动卡块一侧固定开设有两个圆孔，所述连接柱一侧固定连接有圆形固定卡块，所述圆形固定卡块一侧开设有卡块槽，所述卡块槽一侧固定连接有两个卡爪，所述圆形固定卡块一端延伸入第二轴销块内部，所述圆形固定卡块两侧均设有支撑卡块，所述圆形固定卡块与支撑卡块相接触。
优选的，所述固定块顶部一侧分别开设有定位滑槽和连接销孔，所述定位滑槽底部开设有螺丝锁紧孔，所述固定块一侧开设有多个固定丝孔。
优选的，所述移动块顶部分别开设有定位紧固孔和定位孔，所述移动块顶部和底部两侧均开设有通孔，所述移动块底部和顶部两侧均设有复合滚针轴承，两个所述复合滚针轴承分别设于两个通孔内部。
优选的，所述第一轴销块和连接卡盘均贯穿炉门安装块。
优选的，所述轴销连接杆分别贯穿移动块和复合滚针轴承。
优选的，所述炉门安装块一侧开设有多个炉门固定丝孔，所述炉门安装块一侧设有两个调整顶丝。
优选的，所述第二轴销块内部开设有滑动内槽，所述滑动内槽内部侧壁固定设有支撑顶块，所述支撑顶块与圆形固定卡块相接触，所述支撑顶块与弹簧按钮侧壁相接触，所述滑动内槽侧壁固定连接有两个第一弹簧，两个所述第一弹簧另一侧与弹簧按钮固定连接。
优选的，所述支撑顶块一侧固定连接有两个第二弹簧，两个所述第二弹簧另一侧均与弹簧按钮固定连接。
优选的，所述弹簧按钮一侧开设有两个通槽，所述支撑卡块一端延伸入通槽内部，所述通槽内部设有伸缩杆，所述伸缩杆外部固定套设有第三弹簧，所述伸缩杆一端与支撑卡块固定连接，所述伸缩杆另一端与通槽内壁固定连接。
本发明的有益效果是：
1、本发明通过将固定块安装完成后，固定块一侧的移动块安装在固定块上，使移动块方便调节，同时移动块一侧的炉门安装块通过炉门固定丝孔和螺栓将炉门固定在炉门安装块上，炉门安装块通过连接机构使炉门的稳定性提高，铰链的轴销钉承受径向的力，该炉门铰链足够坚固，能够承受炉门自身的轴向重力，当设备抽真空时，铰链承受很强的径向拉力，炉门频繁旋转，复合型轴承更加坚固，可以前后间距可调；
2、本发明通过支撑卡块滑过圆形滑动卡块并到达圆形滑动卡块另一侧，同时支撑卡块回弹并将圆形滑动卡块顶住，圆形滑动卡块进入卡块槽内，卡块槽一侧的卡爪进入圆孔内，使卡爪发生形变并将圆孔卡住，此时便可拉动连接卡盘支撑卡块顺着圆形滑动卡块和圆形固定卡块的边缘滑动将第二轴销块拉出，方便炉门拆卸进行维修维护，安装拆卸起来更加方便快捷，铰链使炉门容易吸合，工艺腔体高真空更好，炉门容易调整。
附图说明
图1为本发明提供的整体结构示意图；
图2为本发明提供的前视立体图；
图3为本发明提供的主视图；
图4为本发明提供的固定块立体图；
图5为本发明提供的轴销钉立体图；
图6为本发明提供的轴销钉剖视图；
图7为本发明提供的图6中的A处放大图；
图8为本发明提供的图7中的B处放大图。
图中：1固定块、2定位紧固孔、3定位孔、4移动块、5第一轴销块、6炉门安装块、7调整顶丝、8固定丝孔、9炉门固定丝孔、10复合滚针轴承、11弹簧按钮、12连接卡盘、13连接销孔、14定位滑槽、15螺丝锁紧孔、16轴销连接杆、17第二轴销块、18第一弹簧、19圆形滑动卡块、20连接柱、21圆形固定卡块、22支撑顶块、23第二弹簧、24滑动内槽、25第三弹簧、26伸缩杆、27支撑卡块、28圆孔、29卡块槽、30卡爪。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
参照附图1-8，本发明提供的一种电子束蒸发台炉门铰链，包括固定块1，所述固定块1一侧设有移动块4，所述移动块4一侧设有炉门安装块6，所述炉门安装块6一侧设有连接机构；
所述连接机构包括第一轴销块5，所述第一轴销块5设于炉门安装块6一侧，所述第一轴销块5一侧固定连接有轴销连接杆16，所述轴销连接杆16一侧设有第二轴销块17，所述第二轴销块17一侧固定连接有连接卡盘12，所述连接卡盘12一侧设有弹簧按钮11，所述弹簧按钮11一端延伸入第二轴销块17内部，所述轴销连接杆16一侧固定连接有连接柱20，所述连接柱20外部套设有圆形滑动卡块19，所述连接柱20与圆形滑动卡块19滑动连接，所述圆形滑动卡块19一侧固定开设有两个圆孔28，所述连接柱20一侧固定连接有圆形固定卡块21，所述圆形固定卡块21一侧开设有卡块槽29，所述卡块槽29一侧固定连接有两个卡爪30，所述圆形固定卡块21一端延伸入第二轴销块17内部，所述圆形固定卡块21两侧均设有支撑卡块27，所述圆形固定卡块21与支撑卡块27相接触，第一轴销块5和轴销连接杆16具有稳定炉门安装块6作用，固定块1和移动块4组合使用具有调节作用。
进一步地，所述固定块1顶部一侧分别开设有定位滑槽14和连接销孔13，所述定位滑槽14底部开设有螺丝锁紧孔15，所述固定块1一侧开设有多个固定丝孔8，定位滑槽14方便移动块4滑动。
进一步地，所述移动块4顶部分别开设有定位紧固孔2和定位孔3，所述移动块4顶部和底部两侧均开设有通孔，所述移动块4底部和顶部两侧均设有复合滚针轴承10，两个所述复合滚针轴承10分别设于两个通孔内部，复合滚针轴承10方便炉门安装块6转动同时减少转动的摩擦力。
进一步地，所述第一轴销块5和连接卡盘12均贯穿炉门安装块6。
进一步地，所述轴销连接杆16分别贯穿移动块4和复合滚针轴承10。
进一步地，所述炉门安装块6一侧开设有多个炉门固定丝孔9，所述炉门安装块6一侧设有两个调整顶丝7。
进一步地，所述第二轴销块17内部开设有滑动内槽24，所述滑动内槽24内部侧壁固定设有支撑顶块22，所述支撑顶块22与圆形固定卡块21相接触，所述支撑顶块22与弹簧按钮11侧壁相接触，所述滑动内槽24侧壁固定连接有两个第一弹簧18，两个所述第一弹簧18另一侧与弹簧按钮11固定连接，支撑顶块22具有支撑作用，圆形固定卡块21具有支撑作用。
进一步地，所述支撑顶块22一侧固定连接有两个第二弹簧23，两个所述第二弹簧23另一侧均与弹簧按钮11固定连接，第二弹簧23具有缓冲作用。
进一步地，所述弹簧按钮11一侧开设有两个通槽，所述支撑卡块27一端延伸入通槽内部，所述通槽内部设有伸缩杆26，所述伸缩杆26外部固定套设有第三弹簧25，所述伸缩杆26一端与支撑卡块27固定连接，所述伸缩杆26另一端与通槽内壁固定连接，支撑卡块27具有支撑作用，伸缩杆26和第三弹簧25具有支撑作用。
本发明的使用过程如下：在使用本发明时，将固定块1安装完成后，固定块1一侧的移动块4安装在固定块1上，使移动块4方便调节，同时移动块4一侧的炉门安装块6通过炉门固定丝孔9和螺栓将炉门固定在炉门安装块6上，炉门安装块6通过连接机构使炉门的稳定性提高，第一轴销块5一侧插入炉门安装块6内，同时第一轴销块5一侧的轴销连接杆16外侧套有两个复合滚针轴承10，复合滚针轴承10的一端插入通孔内方便炉门安装块6转动，同时避免连接处产生噪音且转动性能更好，同时轴销连接杆16一侧的连接柱20和圆形固定卡块21进入第二轴销块17内，圆形固定卡块21进入第二轴销块17内之后会推动支撑卡块27缩回通槽内，圆形固定卡块21与支撑顶块22接触后，支撑卡块27会将圆形固定卡块21卡住，使圆形固定卡块21和支撑卡块27将弹簧按钮11和第二轴销块17卡住，使炉门安装块6固定完成，当需要拆卸炉门进行维修维护时，推动弹簧按钮11，弹簧按钮11推动支撑卡块27移动，支撑卡块27移动并与圆形滑动卡块19接触，使支撑卡块27一侧的伸缩杆26和第三弹簧25收缩，支撑卡块27滑过圆形滑动卡块19并到达圆形滑动卡块19另一侧，同时支撑卡块27回弹并将圆形滑动卡块19顶住，此时松开弹簧按钮11，弹簧按钮11一侧的第一弹簧18和第二弹簧23会推动弹簧按钮11，弹簧按钮11推动支撑卡块27，支撑卡块27推动圆形滑动卡块19移动，使圆形滑动卡块19进入卡块槽29内，卡块槽29一侧的卡爪30进入圆孔28内，使卡爪30发生形变并将圆孔28卡住，此时便可拉动连接卡盘12支撑卡块27顺着圆形滑动卡块19和圆形固定卡块21的边缘滑动将第二轴销块17拉出，方便炉门拆卸进行维修维护，且安装拆卸起来更加方便快捷，设备腔体不在抽真空状体时，炉门主要受自身重量的力，铰链承受一个轴向的力，设备腔体在抽真空状态时，炉门收到工艺腔体的吸力，铰链的轴销钉承受径向的力，该炉门铰链足够坚固，能够承受炉门自身的轴向重力，当设备抽真空时，铰链要承受很强的径向拉力，炉门频繁旋转，轴承要旋转复合型轴承，可以前后间距可调。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例，任何熟悉本领域的技术人员均可能利用上述阐述的技术方案对本发明加以修改或将其修改为等同的技术方案。因此，依据本发明的技术方案所进行的任何简单修改或等同置换，尽属于本发明要求保护的范围。
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