一种电子束蒸发台行星架及其使用方法
阅读说明：本技术 一种电子束蒸发台行星架及其使用方法 (Electron beam evaporation table planet carrier and use method thereof ) 是由 马溢华 赵志强 于 2021-08-20 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种电子束蒸发台行星架及其使用方法,属于行星架技术领域,包括环型架,所述环型架的顶部沿其环部开设有底环形槽,所述底环形槽的内侧开设有侧环形凹槽,所述侧环形凹槽的内侧插入有弧形外限位滑动筒组件,所述弧形外限位滑动筒组件的内侧设有可在所述弧形外限位滑动筒组件上滑动升降的内弧形升降筒,将固定盘固定在驱动环型架旋转的电机输出端,拉伸内弧形升降筒在外限位弧形滑动筒内的位置至非电机固定的顶板底面使其固定钣金与非电机固定的顶板地面贴合。(The invention discloses an electron beam evaporation table planet carrier and a use method thereof, belonging to the technical field of planet carriers, and comprising an annular frame, wherein the top of the annular frame is provided with a bottom annular groove along the annular part of the annular frame, the inner side of the bottom annular groove is provided with a side annular groove, an arc-shaped outer limiting sliding cylinder assembly is inserted into the inner side of the side annular groove, the inner side of the arc-shaped outer limiting sliding cylinder assembly is provided with an inner arc-shaped lifting cylinder capable of sliding and lifting on the arc-shaped outer limiting sliding cylinder assembly, a fixed disc is fixed at the output end of a motor for driving the annular frame to rotate, and the position of the inner arc-shaped lifting cylinder in the outer limiting arc-shaped sliding cylinder is stretched to the bottom surface of a top plate fixed by a non-motor so that a fixed metal plate is attached to the ground of the top plate fixed by the non-motor.)
技术领域
本发明涉及一种行星架，特别是涉及一种电子束蒸发台行星架，本发明还涉及一直行星架使用方法，特别涉及一种电子束蒸发台行星架使用方法，属于行星架技术领域。
背景技术
金属化是半导体芯片制造过程中在绝缘介质薄膜上沉积金属薄膜以及随后刻印图形以便形成金属互连金属线和集成电路的孔填充塞的过程，半导体制造设备电子束蒸发台是将待蒸发的材料放置进坩埚，在真空系统中用电子束加热并使其蒸发，撞击到硅片表面凝结形成金属薄膜。
现有技术中影响电子束蒸发台工艺稳定的因素主要有两个面：电子枪的功率，载片行星镀锅的角度和转速等，行星镀锅是安装在行星架上然后进行自转，行星架的稳定运行直接决定了设备的工艺参数，而现有技术中的行星架的旋转是通过驱动电机的旋转来带动的，驱动电机在旋转的时候具有一定的震动此种震动本身就影响电子束蒸发台行星架旋转的稳定性，其次电子束蒸发台行星架的旋转盘在环形轨道上运行时间久了结构强度减弱变形也是导致不稳定的因素，另外在旋转盘的调节上过于复杂化，调节不够便捷而且容易震动为此涉及一种电子束蒸发台行星架及其使用方法来解决上述问题。
发明内容
本发明的主要目的是为了提供一种电子束蒸发台行星架及其使用方法，将固定盘固定在驱动环型架旋转的电机输出端，拉伸内弧形升降筒在外限位弧形滑动筒内的位置至非电机固定的顶板底面使其固定钣金与非电机固定的顶板地面贴合，旋转固定螺杆与固定螺孔配合对调整好的内弧形升降筒进行固定，采用固定钉贯穿固定孔将固定钣金固定在非电机固定的顶板底面，此种方式降低了因为电机震动而带来的转动盘震动问题，在转动盘背面的中部安装有行星盘，使其转动盘的外环位置位于可支撑转动盘在其上运动的环形滑轨上，通过环形限位架进一步与环形滑轨贴合对转动盘的运动限位避免转动盘晃动，采用拉动调节块使其橡胶套脱离插孔内侧的方式调节转动盘的位置，采用高强度限位弹簧使其插杆插入至插孔内侧挤压稳固，并固定固定钣金以及环形滑轨后产生的挤压使转动盘稳定运动。
本发明的目的可以通过采用如下技术方案达到：
一种电子束蒸发台行星架，包括环型架，所述环型架的顶部沿其环部开设有底环形槽，所述底环形槽的内侧开设有侧环形凹槽，所述侧环形凹槽的内侧插入有弧形外限位滑动筒组件，所述弧形外限位滑动筒组件的内侧设有可在所述弧形外限位滑动筒组件上滑动升降的内弧形升降筒，所述弧形外限位滑动筒组件和内弧形升降筒之间设有可对所述内弧形升降筒进行固定的螺杆固定组件，所述内弧形升降筒的顶部安装有固定钣金组件，所述环型架的内侧下方安装有可有电机输出端固定的条型加强筋组件，所述环型架的外侧底部沿所述环型架环部等角度设有V型支腿，所述V型支腿远离所述环型架的一端开设有限位条槽，所述V型支腿的两侧且靠近所述限位条槽处开设有多组插孔，所述插孔和限位条槽的内侧设有插入式固定组件，所述插入式固定组件贯穿所述限位条槽的一端通过轴承安装有转动盘，所述转动盘的外边部设有环形限位架。
优选的，所述弧形外限位滑动筒组件包括外限位弧形滑动筒和弧形限位条，所述外限位弧形滑动筒插入至所述底环形槽的内侧，所述外限位弧形滑动筒的两侧一体成型有弧形限位条，所述弧形限位条插入至所述侧环形凹槽的内侧。
优选的，所述螺杆固定组件包括固定螺杆和固定螺孔，所述外限位弧形滑动筒的外侧中上方贯穿设有固定螺杆，所述内弧形升降筒的背面中部等间距设有多组固定螺孔，且所述固定螺杆与所述固定螺孔啮合配合。
优选的，所述固定钣金组件包括固定钣金和固定孔，所述固定钣金安装在所述内弧形升降筒一侧的顶部处，且所述固定钣金顶部的两侧开设有固定孔，所述固定钣金采用耐高温铝合金制备而成。
优选的，所述条型加强筋组件包括固定盘和条型加强筋，所述固定盘的外侧等角度安装有条型加强筋，所述条型加强筋的另一端安装在所述环型架的内壁上。
优选的，所述插入式固定组件包括调节块、连接杆、插杆、橡胶套和高强度限位弹簧，所述调节块底部的两侧安装有插杆，所述插杆的外侧环绕固定有高强度限位弹簧，所述高强度限位弹簧的另一端安装有橡胶套，所述调节块底中部安装有连接杆，所述连接杆插入至所述限位条槽的内侧并与所述转动盘侧中部固定。
优选的，所述内弧形升降筒和固定钣金一体成型，所述V型支腿和环型架之间安装有三角型加固筋。
一种电子束蒸发台行星架使用方法，包括如下步骤：
步骤1：将固定盘固定在驱动环型架旋转的电机输出端；
步骤2：拉伸内弧形升降筒在外限位弧形滑动筒内的位置至非电机固定的顶板底面使其固定钣金与非电机固定的顶板地面贴合；
步骤3：旋转固定螺杆与固定螺孔配合对调整好的内弧形升降筒进行固定；
步骤4：采用固定钉贯穿固定孔将固定钣金固定在非电机固定的顶板底面；
步骤5：在转动盘背面的中部安装有行星盘；
步骤6：使其转动盘的外环位置位于可支撑转动盘在其上运动的环形滑轨上；
步骤7：通过环形限位架进一步与环形滑轨贴合对转动盘的运动限位避免转动盘晃动；
步骤8：采用拉动调节块使其橡胶套脱离插孔内侧的方式调节转动盘的位置；
步骤9：采用高强度限位弹簧使其插杆插入至插孔内侧挤压稳固，并固定固定钣金以及环形滑轨后产生的挤压使转动盘稳定运动。
优选的，在所述环形限位架的内侧贴合有耐高温橡胶层。
本发明的有益技术效果：
本发明提供的一种电子束蒸发台行星架及其使用方法，将固定盘固定在驱动环型架旋转的电机输出端，拉伸内弧形升降筒在外限位弧形滑动筒内的位置至非电机固定的顶板底面使其固定钣金与非电机固定的顶板地面贴合，旋转固定螺杆与固定螺孔配合对调整好的内弧形升降筒进行固定，采用固定钉贯穿固定孔将固定钣金固定在非电机固定的顶板底面，此种方式降低了因为电机震动而带来的转动盘震动问题，在转动盘背面的中部安装有行星盘，使其转动盘的外环位置位于可支撑转动盘在其上运动的环形滑轨上，通过环形限位架进一步与环形滑轨贴合对转动盘的运动限位避免转动盘晃动，采用拉动调节块使其橡胶套脱离插孔内侧的方式调节转动盘的位置，采用高强度限位弹簧使其插杆插入至插孔内侧挤压稳固，并固定固定钣金以及环形滑轨后产生的挤压使转动盘稳定运动。
附图说明
图1为按照本发明的一种电子束蒸发台行星架及其使用方法的一优选实施例的装置整体立体结构分解图；
图2为按照本发明的一种电子束蒸发台行星架及其使用方法的一优选实施例的a处结构放大图；
图3为按照本发明的一种电子束蒸发台行星架及其使用方法的一优选实施例的b处结构放大图；
图4为按照本发明的一种电子束蒸发台行星架及其使用方法的一优选实施例的滚动盘侧剖视图；
图5为按照本发明的一种电子束蒸发台行星架及其使用方法的一优选实施例的c处结构放大图；
图6为按照本发明的一种电子束蒸发台行星架及其使用方法的一优选实施例的环型架立体结构示意图。
图中：1-V型支腿，2-三角型加固筋，3-环型架，4-外限位弧形滑动筒，5-内弧形升降筒，6-固定钣金，7-固定孔，8-转动盘，9-环形限位架，10-调节块，11-限位条槽，12-插孔，13-条型加强筋，14-固定盘，15-固定螺孔，16-固定螺杆，17-弧形限位条，18-侧环形凹槽，19-底环形槽，20-连接杆，21-轴承，22-插杆，23-橡胶套，24-高强度限位弹簧。
具体实施方式
为使本领域技术人员更加清楚和明确本发明的技术方案，下面结合实施例及附图对本发明作进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。
如图1-图6所示，本实施例提供的一种电子束蒸发台行星架，包括环型架3，环型架3的顶部沿其环部开设有底环形槽19，底环形槽19的内侧开设有侧环形凹槽18，侧环形凹槽18的内侧插入有弧形外限位滑动筒组件，弧形外限位滑动筒组件的内侧设有可在弧形外限位滑动筒组件上滑动升降的内弧形升降筒5，弧形外限位滑动筒组件和内弧形升降筒5之间设有可对内弧形升降筒5进行固定的螺杆固定组件，内弧形升降筒5的顶部安装有固定钣金组件，环型架3的内侧下方安装有可有电机输出端固定的条型加强筋组件，环型架3的外侧底部沿环型架3环部等角度设有V型支腿1，V型支腿1远离环型架3的一端开设有限位条槽11，V型支腿1的两侧且靠近限位条槽11处开设有多组插孔12，插孔12和限位条槽11的内侧设有插入式固定组件，插入式固定组件贯穿限位条槽11的一端通过轴承21安装有转动盘8，转动盘8的外边部设有环形限位架9。
将固定盘14固定在驱动环型架3旋转的电机输出端，拉伸内弧形升降筒5在外限位弧形滑动筒4内的位置至非电机固定的顶板底面使其固定钣金6与非电机固定的顶板地面贴合，旋转固定螺杆16与固定螺孔15配合对调整好的内弧形升降筒5进行固定，采用固定钉贯穿固定孔7将固定钣金6固定在非电机固定的顶板底面，此种方式降低了因为电机震动而带来的转动盘8震动问题，在转动盘8背面的中部安装有行星盘，使其转动盘8的外环位置位于可支撑转动盘8在其上运动的环形滑轨上，通过环形限位架9进一步与环形滑轨贴合对转动盘8的运动限位避免转动盘8晃动，采用拉动调节块10使其橡胶套23脱离插孔12内侧的方式调节转动盘8的位置，采用高强度限位弹簧24使其插杆22插入至插孔12内侧挤压稳固，并固定固定钣金6以及环形滑轨后产生的挤压使转动盘8稳定运动。
在本实施例中，弧形外限位滑动筒组件包括外限位弧形滑动筒4和弧形限位条17，外限位弧形滑动筒4插入至底环形槽19的内侧，外限位弧形滑动筒4的两侧一体成型有弧形限位条17，弧形限位条17插入至侧环形凹槽18的内侧，，螺杆固定组件包括固定螺杆16和固定螺孔15，外限位弧形滑动筒4的外侧中上方贯穿设有固定螺杆16，内弧形升降筒5的背面中部等间距设有多组固定螺孔15，且固定螺杆16与固定螺孔15啮合配合，固定钣金组件包括固定钣金6和固定孔7，固定钣金6安装在内弧形升降筒5一侧的顶部处，且固定钣金6顶部的两侧开设有固定孔7，固定钣金6采用耐高温铝合金制备而成。
拉伸内弧形升降筒5在外限位弧形滑动筒4内的位置至非电机固定的顶板底面使其固定钣金6与非电机固定的顶板地面贴合，旋转固定螺杆16与固定螺孔15配合对调整好的内弧形升降筒5进行固定，采用固定钉贯穿固定孔7将固定钣金6固定在非电机固定的顶板底面。
在本实施例中，条型加强筋组件包括固定盘14和条型加强筋13，固定盘14的外侧等角度安装有条型加强筋13，条型加强筋13的另一端安装在环型架3的内壁上。
在本实施例中，插入式固定组件包括调节块10、连接杆20、插杆22、橡胶套23和高强度限位弹簧24，调节块10底部的两侧安装有插杆22，插杆22的外侧环绕固定有高强度限位弹簧24，高强度限位弹簧24的另一端安装有橡胶套23，调节块10底中部安装有连接杆20，连接杆20插入至限位条槽11的内侧并与转动盘8侧中部固定。
采用拉动调节块10使其橡胶套23脱离插孔12内侧的方式调节转动盘8的位置，采用高强度限位弹簧24使其插杆22插入至插孔12内侧挤压稳固，并固定固定钣金6以及环形滑轨后产生的挤压使转动盘8稳定运动。
在本实施例中，内弧形升降筒5和固定钣金6一体成型，V型支腿1和环型架3之间安装有三角型加固筋2。
一种电子束蒸发台行星架使用方法，包括如下步骤：
步骤1：将固定盘14固定在驱动环型架3旋转的电机输出端；
步骤2：拉伸内弧形升降筒5在外限位弧形滑动筒4内的位置至非电机固定的顶板底面使其固定钣金6与非电机固定的顶板地面贴合；
步骤3：旋转固定螺杆16与固定螺孔15配合对调整好的内弧形升降筒5进行固定；
步骤4：采用固定钉贯穿固定孔7将固定钣金6固定在非电机固定的顶板底面；
步骤5：在转动盘8背面的中部安装有行星盘；
步骤6：使其转动盘8的外环位置位于可支撑转动盘8在其上运动的环形滑轨上；
步骤7：通过环形限位架9进一步与环形滑轨贴合对转动盘8的运动限位避免转动盘8晃动；
步骤8：采用拉动调节块10使其橡胶套23脱离插孔12内侧的方式调节转动盘8的位置；
步骤9：采用高强度限位弹簧24使其插杆22插入至插孔12内侧挤压稳固，并固定固定钣金6以及环形滑轨后产生的挤压使转动盘8稳定运动。
在本实施例中，在环形限位架9的内侧贴合有耐高温橡胶层。
以上，仅为本发明进一步的实施例，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明所公开的范围内，根据本发明的技术方案及其构思加以等同替换或改变，都属于本发明的保护范围。
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