一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置

文档序号:1948668 发布日期:2021-12-10 浏览:6次 >En<

阅读说明:本技术 一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置 (Prevent coating film device for semiconductor manufacture of skew ) 是由 王桂凤 于 2021-08-13 设计创作,主要内容包括:本发明涉及镀膜技术领域,且公开了一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置,包括箱体,所述箱体的一侧内壁活动连接有第一螺纹杆,第一螺纹杆的一侧活动连接有散热箱,所述散热箱的两侧分别固定连接有第一挡板和第二挡板,所述箱体的顶部内壁固定连接有隔板,隔板的一侧开设有取物口,且第一挡板位于取物口内,所述第一挡板的一侧设有防偏机构,所述防偏机构包括第二螺纹杆,第二螺纹杆螺纹连接在第一挡板的一侧。本发明不仅能够对外界进行隔断,防止灰尘进入,提高装置的镀膜质量,同时能够防止产品在镀膜时发生偏移,提高装置的镀膜效果,还能够对产品在进行镀膜前进行清理,提高了产品的洁净度。(The invention relates to the technical field of coating, and discloses an anti-deviation coating device for semiconductor production, which comprises a box body, wherein a first threaded rod is movably connected to the inner wall of one side of the box body, a heat dissipation box is movably connected to one side of the first threaded rod, a first baffle and a second baffle are respectively and fixedly connected to the two sides of the heat dissipation box, a partition plate is fixedly connected to the inner wall of the top of the box body, an object taking opening is formed in one side of the partition plate, the first baffle is located in the object taking opening, a deviation preventing mechanism is arranged on one side of the first baffle, the deviation preventing mechanism comprises a second threaded rod, and the second threaded rod is in threaded connection with one side of the first baffle. The invention can not only isolate the outside, prevent dust from entering, improve the coating quality of the device, prevent the product from deviating during coating, improve the coating effect of the device, clean the product before coating, and improve the cleanliness of the product.)

一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域,具体为一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置。

背景技术

众所周知,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种,而半导体在加工时常常需要对其进行镀膜。

经检索,授权公开号为CN110773381B的专利,公开了一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置,包括设备主体、竖向螺旋杆、连接套、第一转轴、卡槽、第二镀膜装置、第二转轴、第二齿轮。上述专利存在以下不足:对产品进行镀膜后,不方便对产品进行拿取,容易造成镀膜室内被污染,影响后续产品的镀膜效果,不能满足人们的要求。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本发明提供了一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置,主要为解决产品进行镀膜后,不方便对产品进行拿取,容易造成镀膜室内被污染的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:

一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置,包括箱体,所述箱体的一侧内壁活动连接有第一螺纹杆,第一螺纹杆的一侧活动连接有散热箱,所述散热箱的两侧分别固定连接有第一挡板和第二挡板,所述箱体的顶部内壁固定连接有隔板,隔板的一侧开设有取物口,且第一挡板位于取物口内,所述第一挡板的一侧设有防偏机构,所述防偏机构包括第二螺纹杆,第二螺纹杆螺纹连接在第一挡板的一侧,所述第二螺纹杆的一端活动连接有推板,所述第一挡板的一侧活动连接有两个第二导向杆,第二导向杆穿过推板且固定连接有夹片,夹片的一侧固定连接有第二弹簧,第二弹簧的另一端与推板相固定,所述箱体的底部开设有安装孔,安装孔内固定连接有坩埚,坩埚内设有镀材,所述坩埚底部设有加热座,所述箱体的一侧活动连接有两个门体,所述箱体的一侧外壁固定连接有电机,电机输出轴的一端穿过箱体并与第一螺纹杆相固定,所述箱体的一侧内壁固定连接有第一导向杆,且第一导向杆穿过第一挡板、第二挡板和散热箱并与第一挡板、第二挡板和散热箱滑动连接。

进一步的,所述箱体的一侧内壁固定连接有齿条,且齿条穿过第一挡板、第二挡板和散热箱并与第一挡板、第二挡板和散热箱间隙连接,所述散热箱的顶部固定连接有两个固定架,固定架的一侧均活动连接有转轴,转轴的一端固定连接有多个扇叶,转轴的另一端固定连接有齿轮,且齿轮与齿条相啮合,所述散热箱的底部开设有多个风孔。

在前述方案的基础上,所述隔板的一侧设有清扫机构,所述清扫机构包括两个第二导轨,第二导轨内活动连接有滑块,滑块之间活动连接有清扫辊,所述滑块的底部固定连接有第一弹簧,第一弹簧的另一端与第二导轨相固定,所述散热箱的一侧固定连接有两个安装架,安装架的底部固定连接有第一导轨,第一导轨的一侧固定连接有导向块,导向块的一侧固定连接有安装轴,安装轴的一侧活动连接有导向片,导向片的一侧固定连接有扭簧,且扭簧的另一端与安装轴相固定,所述清扫辊固定轴的一端穿过滑块并与第一导轨滑动连接。

作为本发明再进一步的方案,所述第一挡板的一侧固定连接有第二固定块,第二固定块的顶部活动连接有推杆,所述门体其中一个的一侧固定连接有第一固定块,且推杆的另一端与第一固定块转动连接,所述第一固定块的一侧固定连接有拉簧,拉簧的另一端与箱体的一侧内壁相固定。

进一步的,所述门体的一侧开设有安装口,安装口内设有视窗。

在前述方案的基础上,所述箱体顶部开设有散热孔,散热孔的一侧固定连接有防护架。

作为本发明再进一步的方案,所述箱体的顶部内壁固定连接有两个灯架,灯架的一侧设有照明灯。

进一步的,所述箱体的底部固定连接有多个支撑脚,支撑脚的底部开设有防滑纹。

在前述方案的基础上,所述夹片的一侧固定连接有橡胶垫。

(三)有益效果

与现有技术相比,本发明提供了一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置,具备以下有益效果:

1、该镀膜装置,通过在散热箱的两个安装第一挡板和第二挡板的设置,使得当装置在进行镀膜时第一挡板能够和隔板配合,对外界进行隔断,防止灰尘进入,当镀膜完成后第二挡板又对外界进行隔断,防止灰尘进入,提高装置的镀膜质量。

2、该镀膜装置,通过在第一挡板的一侧安装防偏机构的设置,使得产品在进行镀膜时能够被夹板进行固定,防止产品在镀膜时发生偏移,提高装置的镀膜效果。

3、该镀膜装置,通过清扫机构的设置,使得产品在进行镀膜前能够被清扫辊进行清理,防止产品上附着异物,对产品的镀膜造成影响,提高了产品的洁净度。

4、该镀膜装置,通过推杆和拉簧的配合使用,使得当产品在覆膜完成后,散热箱移动能够将门体自动顶出,减少人工的操作,提高了装置的自动程度。

附图说明

图1为本发明提出的一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置的主视结构示意图;

图2为本发明提出的一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置的正面剖视结构示意图;

图3为本发明提出的一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置的俯视剖视结构示意图;

图4为本发明提出的一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置的清扫机构结构示意图;

图5为本发明提出的一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置的防偏机构结构示意图;

图6为本发明提出的一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置的散热箱剖视结构示意图。

图中:1、支撑脚;2、门体;3、视窗;4、防护架;5、电机;6、箱体;601、隔板;7、防偏机构;8、清扫机构;9、镀材;10、加热座;11、坩埚;12、齿条;13、散热箱;131、第一挡板;132、第二挡板;14、第一导向杆;15、第一螺纹杆;16、照明灯;17、拉簧;18、第一固定块;19、推杆;20、第二固定块;21、第一导轨;22、安装架;23、导向片;24、扭簧;25、导向块;26、清扫辊;27、第一弹簧;28、第二导轨;29、滑块;30、夹片;31、第二弹簧;32、推板;33、第二导向杆;34、第二螺纹杆;35、齿轮;36、固定架;37、转轴;38、扇叶;39、风孔。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

参照图1-图6,一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置,包括箱体6,箱体6的一侧内壁转动连接有第一螺纹杆15,第一螺纹杆15的一侧螺纹连接有散热箱13,散热箱13的两侧分别通过螺栓固定有第一挡板131和第二挡板132,箱体6的顶部内壁通过螺栓固定有隔板601,隔板601的一侧开设有取物口,且第一挡板131位于取物口内,当装置在进行镀膜时,第一挡板131能够和隔板601配合,对外界进行隔断,防止灰尘进入,当镀膜完成后第二挡板132又对外界进行隔断,防止灰尘进入,第一挡板131的一侧设有防偏机构7,防偏机构7包括第二螺纹杆34,第二螺纹杆34螺纹连接在第一挡板131的一侧,第二螺纹杆34的一端转动连接有推板32,第一挡板131的一侧插接有两个第二导向杆33,第二导向杆33穿过推板32且通过螺栓固定有夹片30,夹片30的一侧通过螺栓固定有第二弹簧31,第二弹簧31的另一端与推板32相固定,转动第二螺纹杆34,第二螺纹杆34推动推板32然后通过第二弹簧31推动夹片30对产品进行夹紧,箱体6的底部开设有安装孔,安装孔内通过螺栓固定有坩埚11,坩埚11内设有镀材9,坩埚11底部设有加热座10,启动加热座10从而能够通过坩埚11对镀材9进行加热,对产品进行镀膜,箱体6的一侧转动连接有两个门体2,箱体6的一侧外壁通过螺栓固定有电机5,电机5输出轴的一端穿过箱体6并与第一螺纹杆15相固定,箱体6的一侧内壁通过螺栓固定有第一导向杆14,且第一导向杆14穿过第一挡板131、第二挡板132和散热箱13并与第一挡板131、第二挡板132和散热箱13滑动连接,电机5转动,从而通过第一螺纹杆15使散热箱13移动。

本发明中,箱体6的一侧内壁通过螺栓固定有齿条12,且齿条12穿过第一挡板131、第二挡板132和散热箱13并与第一挡板131、第二挡板132和散热箱13间隙连接,散热箱13的顶部通过螺栓固定有两个固定架36,固定架36的一侧均转动连接有转轴37,转轴37的一端通过螺栓固定有多个扇叶38,转轴37的另一端通过螺栓固定有齿轮35,且齿轮35与齿条12相啮合,散热箱13移动时,同时齿条12与齿轮35啮合,使得齿轮35转动,通过转轴37使得扇叶38转动,从而产生气流使镀膜后的产品快速干燥,散热箱13的底部开设有多个风孔39,隔板601的一侧设有清扫机构8,清扫机构8包括两个第二导轨28,第二导轨28内滑动连接有滑块29,滑块29之间转动连接有清扫辊26,滑块29的底部通过螺栓固定有第一弹簧27,第一弹簧27的另一端与第二导轨28相固定,第一弹簧27能够将滑块29顶起,散热箱13的一侧通过螺栓固定有两个安装架22,安装架22的底部通过螺栓固定有第一导轨21,第一导轨21的一侧通过螺栓固定有导向块25,导向块25的一侧通过螺栓固定有安装轴,安装轴的一侧转动连接有导向片23,导向片23的一侧通过螺栓固定有扭簧24,且扭簧24的另一端与安装轴相固定,扭簧24能够使导向片23复位,清扫辊26固定轴的一端穿过滑块29并与第一导轨21滑动连接。

需要说明的是,第一挡板131的一侧通过螺栓固定有第二固定块20,第二固定块20的顶部转动连接有推杆19,门体2其中一个的一侧通过螺栓固定有第一固定块18,且推杆19的另一端与第一固定块18转动连接,当第一挡板131移动的同时通过推杆19推动门体2,将门体2自动打开,第一固定块18的一侧通过螺栓固定有拉簧17,拉簧17的另一端与箱体6的一侧内壁相固定,拉簧17能够辅助门体2关闭,门体2的一侧开设有安装口,安装口内设有视窗3,通过视窗3便于人们对装置内进行观察,箱体6顶部开设有散热孔,散热孔的一侧通过螺栓固定有防护架4,箱体6的顶部内壁通过螺栓固定有两个灯架,灯架的一侧设有照明灯16,箱体6的底部通过螺栓固定有多个支撑脚1,支撑脚1的底部开设有防滑纹,夹片30的一侧粘接有橡胶垫。

工作原理:使用时,启动加热座10通过坩埚11对镀材9进行加热,从而对产品进行镀膜,当镀膜完成后,启动电机5,电机5转动,从而使散热箱13移动,同时齿条12与齿轮35啮合,使得齿轮35转动,通过转轴37使得扇叶38转动,从而产生气流使镀膜后的产品快速干燥,散热箱13移动的同时,通过安装架22带动第一导轨21移动,此时清扫辊26在导向块25下方移动,防止对镀膜完成后的产品造成破坏,当散热箱13和第一导轨21移动到位时,清扫辊26在第一弹簧27的作用下复位,到导向块25的上方,便于对为镀膜的产品清理,当清扫辊26移动至导向块25的一端时,清扫辊26压动导向片23转动,当清扫辊26脱离与导向片23接触时,导向片23在扭簧24的作用下复位,当清扫辊26再次移动时,在沿着导向片23下方的斜面进行移动,而当第一挡板131移动的同时通过推杆19推动门体2,将门体2自动打开,当散热箱13移动到位时,转动第二螺纹杆34,第二螺纹杆34带动推板32向后移动,从而松开对产品的紧固,同时第二挡板132对隔板601上的取物口进行封堵,防止异物进入,将镀膜完成后的产品取出下,然后放入新的产品,并转动第二螺纹杆34,第二螺纹杆34推动推板32然后通过第二弹簧31推动夹片30对产品进行夹紧,从而进行镀膜。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接,并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

在该文中的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接,可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在该文中的描述中,需要说明的是,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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