阅读说明：本技术 靶 (Target ) 是由 钱铁威 于 2019-03-21 设计创作，主要内容包括：本发明提出了一种靶,包括管形的靶体、管形的承载体及安装柱,承载体套设在安装柱上,靶体套设在承载体上,所述的承载体的内部设有冷却腔体,所述的承载体上设有冷却液进口和冷却液出口,冷却液进口和冷却液出口分别与冷却腔体连通设置,所述的靶体可绕其中心轴线进行转动,所述的靶体可沿其中心轴线方向进行移动。(The invention provides a target which comprises a tubular target body, a tubular supporting body and an installation column, wherein the supporting body is sleeved on the installation column, the target body is sleeved on the supporting body, a cooling cavity is arranged in the supporting body, a cooling liquid inlet and a cooling liquid outlet are arranged on the supporting body, the cooling liquid inlet and the cooling liquid outlet are respectively communicated with the cooling cavity, the target body can rotate around the central axis of the target body, and the target body can move along the direction of the central axis of the target body.)

靶

技术领域

本发明涉及一种靶。

背景技术

靶可以理解为，表示阴极溅射系统中被溅射的材料。过去所使用的大部分溅射靶是构造为呈圆形的或呈矩形的所谓的平面靶。然而平面靶具有如下缺点：构成该平面靶的材料的仅约30％到40％得到有效溅射，其有效利用率低，使用寿命短。

发明内容

针对背景技术中指出的问题，本发明提出一种靶，该整体为管形，并能进行转动和移动，且其内部配置有冷却结构，提高了靶的利用率，延长了其使用寿命。

本发明的技术方案是这样实现的：

一种靶，包括管形的靶体、管形的承载体及安装柱，承载体套设在安装柱上，靶体套设在承载体上，所述的承载体的内部设有冷却腔体，所述的承载体上设有冷却液进口和冷却液出口，冷却液进口和冷却液出口分别与冷却腔体连通设置。

本发明还进一步设置为，所述的靶体可绕其中心轴线进行转动。

本发明还进一步设置为，所述的承载体与安装柱固定连接，安装柱上连接有驱动其转动的驱动装置一。

本发明还进一步设置为，所述的承载体与安装柱形成可转动连接，还包括一驱动承载体转动的驱动机构。

本发明还进一步设置为，所述的驱动机构包括齿轮一、齿轮二、驱动装置二，所述的齿轮一与承载体同轴且联动设置，齿轮二与齿轮一啮合，驱动装置二与齿轮二连接用于驱动齿轮二转动。

本发明还进一步设置为，所述的靶体可沿其中心轴线方向进行移动。

本发明还进一步设置为，所述的承载体与安装柱固定连接，安装柱上连接有牵引其沿其轴线方向移动的牵引机构一。

本发明还进一步设置为，所述的承载体与安装柱在安装柱轴线方向形成滑动连接，还包括牵引机构二，牵引机构二与承载体连接用于牵引承载体在安装柱上滑动。

一种靶，包括管形的靶体和安装柱，靶体套设在安装柱上，所述的靶体可绕其中心轴线进行转动，所述的靶体可沿其中心轴线方向进行移动。

本发明的有益效果：

本发明提供的靶，其结构为管形，使用时通过对管形靶进行自转和上下移动的调节，使靶的表面能获得更均匀的蚀刻效果，且通过调节靶体的位置蚀刻区域基本能覆盖整个靶的表面，并在承载体上配置冷却结构，使蚀刻时产生的热量能得到快读的冷却，提高了靶材的利用率，延长了其使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的结构示意图；

图3为本发明的结构示意图；

图4为本发明的结构示意图；

图5为本发明的结构示意图；

图6为本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如下参考图1-6对本发明进行说明：

如图1所示：一种靶，包括管形的靶体1、管形的承载体2及安装柱3，承载体2套设在安装柱3上，靶体1套设在承载体2上，所述的承载体2的内部设有冷却腔体，所述的承载体2上设有冷却液进口21和冷却液出口22，冷却液进口21和冷却液出口22分别与冷却腔体连通设置。

其中，所述的靶体1可绕其中心轴线进行转动。

如图2所示，所述的承载体2与安装柱3固定连接，安装柱3上连接有驱动其转动的驱动装置一4，驱动装置一4可以是电机。实际使用时，安装柱3与设备的架体连接，电机也安装在架体上合适的位置。

如图3所示，所述的承载体2与安装柱3形成可转动连接，承载体2与安装柱3之间通过轴承连接，还包括一驱动承载体2转动的驱动机构。

如图3所示，所述的驱动机构包括齿轮一5、齿轮二6、驱动装置二7(电机)，所述的齿轮一5与承载体2同轴且联动设置，齿轮二6与齿轮一5啮合，驱动装置二7与齿轮二6连接用于驱动齿轮二6转动。实际使用时，安装柱3与设备的架体连接，电机也安装在架体上合适的位置。

其中，所述的靶体1可沿其中心轴线方向进行移动。

如图4所示，所述的承载体2与安装柱3固定连接，安装柱3上连接有牵引其沿其轴线方向移动的牵引机构一8，牵引机构一8可以是气缸，实际使用时，安装柱3与设备的架体连接，气缸也安装在架体上合适的位置。气缸也可以对安装柱的牵引移动位置进行定位固定。

如图5所示，所述的承载体2与安装柱3在安装柱3轴线方向形成滑动连接，还包括牵引机构二9(气缸)，牵引机构二9与承载体2连接用于牵引承载体2在安装柱3上滑动。实际使用时，安装柱3与设备的架体连接，气缸也安装在架体上合适的位置。

如图6所示，一种靶，包括管形的靶体1和安装柱3，靶体1套设在安装柱3上，所述的靶体1可绕其中心轴线进行转动，所述的靶体1可沿其中心轴线方向进行移动。靶体1的转动和上下移动采用上面提到的相应的技术方案。

本发明的有益效果：

本发明提供的靶，其结构为管形，使用时通过对管形靶进行自转和上下移动的调节，使靶的表面能获得更均匀的蚀刻效果，且通过调节靶体1的位置蚀刻区域基本能覆盖整个靶的表面，并在承载体2上配置冷却结构，使蚀刻时产生的热量能得到快读的冷却，提高了靶材的利用率，延长了其使用寿命。

以上所述的仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。