阅读说明：本技术 一种oled蒸镀基板传送装置及其使用方法 (OLED evaporation substrate conveying device and using method thereof ) 是由 伍丰伟 于 2021-10-13 设计创作，主要内容包括：本发明公开一种OLED蒸镀基板传送装置及其使用方法,装置包括磁力板和机械臂,磁力板上间隔设置若干磁铁形成磁铁矩阵,磁力板上间隔设有若干通孔,每个通孔活动穿设有磁力吸盘棒；基板铺设在磁力吸盘棒上,并由磁力吸盘棒带动升降以铺设在磁力板的一表面；掩膜板铺设在基板背离磁力板的一面并对齐,磁力板通过磁铁矩阵对基板和掩膜板进行吸附固定；机械臂带动基板铺设在磁力吸盘棒上并在掩膜板和基板对齐后带动磁力板翻转。本发明取消掩模片开孔,采用磁力板开孔及机构翻转方式,提高基板与掩膜板的对位精度,有利于OLED量产顺利进行。(The invention discloses an OLED evaporation substrate conveying device and a using method thereof, wherein the device comprises a magnetic plate and a mechanical arm, wherein a plurality of magnets are arranged on the magnetic plate at intervals to form a magnet matrix, a plurality of through holes are arranged on the magnetic plate at intervals, and a magnetic sucker rod is movably arranged through each through hole; the substrate is laid on the magnetic sucker rod and is driven by the magnetic sucker rod to lift so as to be laid on one surface of the magnetic plate; the mask plate is laid on one surface of the substrate, which is far away from the magnetic plate, and is aligned with the substrate, and the magnetic plate adsorbs and fixes the substrate and the mask plate through a magnet matrix; the mechanical arm drives the substrate to be laid on the magnetic sucker rod and drives the magnetic plate to turn over after the mask plate and the substrate are aligned. According to the invention, the mask sheet opening is cancelled, the magnetic plate opening and the mechanism overturning mode are adopted, the alignment precision of the substrate and the mask plate is improved, and the smooth mass production of the OLED is facilitated.)

一种OLED蒸镀基板传送装置及其使用方法

技术领域

本发明涉及显示

技术领域

的制造设备，尤其涉及一种OLED蒸镀基板传送装置及其使用方法。

背景技术

有机发光二极管(OLED ，Organic Lighting Emitting Diode)具有全固态、超薄、无视角限制，快速响应、低温工作、易于实现柔性显示和3D显示等优点，一致被公认为是继LCD之后新一代的显示主流技术。目前OLED器件制作的主要方式是加热蒸发镀膜，主要是使用加热容器在真空环境下加热蒸镀材料，使升华型或者熔融型的蒸镀材料在高温状态下气化，沉积在TFT （Thin Film Transistor，薄膜晶体管）结构或者阳极结构的玻璃基板上。

目前现有的装置_如图1，该装置从上至下依次为磁力板1（Magnet）/基板2（GLASS）/掩膜板3（MASK）。为减小玻璃基板弯曲（Bending），基板是以正面朝下状态在非成膜区域处，对掩膜板3 设置若干筋条即掩膜片（Mask Sheet）条，用以支撑玻璃基板，从而减小弯曲，该筋条上开设若干小孔，用以基板支撑脚（Glass Support pin）上下移动，完成基板与掩膜板的对位。

现有装置缺点： 1）因像素设计原因，掩膜片的洞（Mask Sheet Hole）区域较小（≈2mm），故基板支撑脚需＜2mm， 此时基板支撑脚实际制作时有难度；2）基板支撑脚实际＜2mm，基板与掩膜板对位时，基板对位极易出现问题（基板支撑脚活动区域过小，难于满足高精度对位要求），制约OLED蒸镀量产。

发明内容

本发明的目的在于提供一种OLED蒸镀基板传送装置及其使用方法。

本发明采用的技术方案是：

一种OLED蒸镀基板传送装置，其包括磁力板和机械臂，磁力板上间隔设置若干磁铁形成磁铁矩阵，磁力板上间隔设有若干通孔，每个通孔活动穿设有磁力吸盘棒；基板铺设在磁力吸盘棒上，并由磁力吸盘棒带动升降以铺设在磁力板的一表面；掩膜板铺设在基板背离磁力板的一面并对齐，磁力板通过磁铁矩阵对基板和掩膜板进行吸附固定；机械臂带动基板铺设在磁力吸盘棒上并在掩膜板和基板对齐后带动磁力板翻转。

进一步地，磁力板上位于同一行或同一列的磁铁的磁极方向相同。

进一步地，磁力板对应磁铁设有若干固定槽，磁铁可拆卸固定在固定槽内。

进一步地，掩膜板包括掩膜片和掩膜框，掩膜板的侧边由一掩膜框固定，掩膜框固定在掩膜板支撑座上。

进一步地，磁力吸盘棒一端具有磁力吸盘，磁力吸盘对基板进行吸附支撑。

一种OLED蒸镀基板传送装置的使用方法，其包括以下步骤：

步骤1，将磁力板一面朝上放置，并将磁铁固定在磁力板上以形成磁力矩阵；

步骤2，磁力吸盘棒配置于磁力板的通孔内，且磁力吸盘棒保证具有磁力吸盘的一端高于磁力板一面；

步骤3，操纵机械臂将基板送进腔室以放置于磁力吸盘棒上，并在磁力吸盘棒对基板形成支撑后操纵机械臂退出腔室；

步骤4，控制磁力吸盘棒下降，并使得磁力吸盘棒的一端低于磁力板的一面；

步骤5，待基板放置于磁力板的一面后，将掩膜板反面送入腔室并放置于基板的上方；

步骤6，逐步降低掩膜板高度至即将接触基板位置，启动CCD进对位，同时控制调整掩膜板的位置，使得掩膜板与基板对齐；

步骤7，掩膜板与基板对齐后，降低掩膜板使得掩膜板与基板接触，磁力板通过磁力将基板和掩膜板紧密贴合；

步骤8，操纵机械臂带动磁力板翻转180°，基板和掩膜板同步翻转180°，使得掩膜板的底杠与腔室内的滚轮相互作用将基板送入镀膜腔室。滚轮类似于带凹槽的齿轮，底杠与滚轮相互接触、摩擦，推动底杠向前运动；

进一步地，步骤3中机械臂将基板送进腔室时，基板的地面高度高于磁力吸盘棒的一端；待基板到位时，操纵机械臂下降使得基板放置于磁力吸盘棒上并由磁力吸盘棒支撑。

进一步地，步骤6中先粗调对位后，进行细调对位，粗调精度为500~150μm，而细调对位的精度范围≤50μm。

本发明采用以上技术方案，取消Mask Sheet 开孔，一定程度上避免蒸镀材料透过Mask Sheet 孔，使蒸发材料沉积在基板Panel区，影响显示效果；

2)新技术方案取消Mask Sheet 开孔，采用Magnet Plate开孔及机构翻转方式，可提高基板与Mask 对位精度，有利于OLED量产顺利进行。

附图说明

以下结合附图和

具体实施方式

对本发明做进一步详细说明；

图1为现有蒸镀基板固定装置结构示意图；

图2为本发明一种OLED蒸镀基板传送装置的使用状态图之一；

图3为本发明一种OLED蒸镀基板传送装置的使用状态图之二；

图4为本发明一种OLED蒸镀基板传送装置的使用状态图之三；

图5为本发明一种OLED蒸镀基板传送装置的使用状态图之四；

图6为本发明一种OLED蒸镀基板传送装置的使用状态图之五；

图7为本发明一种OLED蒸镀基板传送装置的使用状态图之六；

图8为本发明一种OLED蒸镀基板传送装置的使用状态图之七；

图9为本发明一种OLED蒸镀基板传送装置的使用状态图之八；

图10为本发明一种OLED蒸镀基板传送装置的使用状态图之九；

图11为本发明一种OLED蒸镀基板传送装置的使用状态图之十。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图2至图11之一所示，本发明公开了一种OLED蒸镀基板传送装置，其包括磁力板和机械臂，磁力板上间隔设置若干磁铁形成磁铁矩阵，磁力板上间隔设有若干通孔，每个通孔活动穿设有磁力吸盘棒；基板铺设在磁力吸盘棒上，并由磁力吸盘棒带动升降以铺设在磁力板的一表面；掩膜板铺设在基板背离磁力板的一面并对齐，磁力板通过磁铁矩阵对基板和掩膜板进行吸附固定；机械臂带动基板铺设在磁力吸盘棒上并在掩膜板和基板对齐后带动磁力板翻转。

进一步地，磁力板上位于同一行或同一列的磁铁的磁极方向相同。

进一步地，磁力板对应磁铁设有若干固定槽，磁铁可拆卸固定在固定槽内。

进一步地，掩膜板包括掩膜片和掩膜框，掩膜板的侧边由一掩膜框固定，掩膜框固定在掩膜板支撑座上。

进一步地，磁力吸盘棒一端具有磁力吸盘，磁力吸盘对基板进行吸附支撑。

一种OLED蒸镀基板传送装置的使用方法，其包括以下步骤：

步骤1，如图2所示，将磁力板一面朝上放置，并将磁铁固定在磁力板上以形成磁力矩阵；

步骤2，如图3或4所示，磁力吸盘棒配置于磁力板的通孔内，且磁力吸盘棒保证具有磁力吸盘的一端高于磁力板一面；

步骤3，如图5所示，操纵机械臂将基板送进腔室以放置于磁力吸盘棒上，并在磁力吸盘棒对基板形成支撑后操纵机械臂退出腔室；

步骤4，如图6或7所示，控制磁力吸盘棒下降，并使得磁力吸盘棒的一端低于磁力板的一面；

步骤5，待基板放置于磁力板的一面后，如图8所示，将掩膜板反面送入腔室并放置于基板的上方；

步骤6，如图9或10所示，逐步降低掩膜板高度至即将接触基板位置，启动CCD进对位，同时控制调整掩膜板的位置，使得掩膜板与基板对齐；

步骤7，掩膜板与基板对齐后，降低掩膜板使得掩膜板与基板接触，磁力板通过磁力将基板和掩膜板紧密贴合；

步骤8，如图11所示，操纵机械臂带动磁力板翻转180°，基板和掩膜板同步翻转180°，使得掩膜板的底杠与腔室内的滚轮相互作用将基板送入镀膜腔室。Roller滚轮类似于带凹槽的齿轮，底杠与滚轮相互接触、摩擦，推动底杠向前运动。

进一步地，步骤3中机械臂将基板送进腔室时，基板的地面高度高于磁力吸盘棒的一端；待基板到位时，操纵机械臂下降使得基板放置于磁力吸盘棒上并由磁力吸盘棒支撑。

进一步地，步骤6中先粗调对位后，进行细调对位。对位中粗调与细调，二者区别在于对位精度的范围不同，比如粗调精度为500~150μm，而细调对位精度高，其精度范围≤50μm；

本发明采用以上技术方案，取消Mask Sheet 开孔，一定程度上避免蒸镀材料透过Mask Sheet 孔，使蒸发材料沉积在基板Panel区，影响显示效果；

2)新技术方案取消Mask Sheet 开孔，采用Magnet Plate开孔及机构翻转方式，可提高基板与Mask 对位精度，有利于OLED量产顺利进行。

显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。