阅读说明：本技术 一种可调张力的镀膜机 (Coating machine with adjustable tension ) 是由 李泽芬 李东霖 钱立明 于 2019-11-27 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种可调张力的镀膜机,包括装载支架、顶接板、托载台和泵体,所述装载支架顶部中间处水平设置有顶接板,且所述装载支架两端均竖向设置有侧封板,两个侧封板之间水平嵌设有托载台。本发明的有益效果是：通过溅射机构上的电机五带动电子枪调节移动至靶材正上方,保证电子枪能够快速移动至靶材上方进行轰击工作,并且电子枪对靶材照射轰击时,电机七通过旋摆板带动电子枪左右往复翻转工作,一方面,保证靶材被电子枪轰击处理更完全,再配合电机五在挂台上带动电子枪左右调节活动,保证电子枪对靶材轰击面积覆盖更完全,另一方面,极大的提高了靶材表面组分被轰击逸出的效率以及基板被镀膜的效率。(The invention discloses a tension-adjustable film coating machine which comprises a loading support, a jacking plate, a supporting platform and a pump body, wherein the jacking plate is horizontally arranged in the middle of the top of the loading support, side sealing plates are vertically arranged at two ends of the loading support, and the supporting platform is horizontally embedded between the two side sealing plates. The invention has the beneficial effects that: drive the electron gun through five motors on the sputtering mechanism and adjust and remove directly over the target, guarantee that the electron gun can remove fast and carry out bombardment work to the target top, and when the electron gun shines the bombardment to the target, motor seven drives reciprocal upset work about the electron gun through the swing board, on the one hand, guarantee that the target is handled more completely by the electron gun bombardment, the regulation activity about driving the electron gun on hanging the platform is moved to motor five deuterogamy, it is more complete to guarantee that the electron gun covers the target bombardment area, on the other hand, very big improvement target surface composition by bombardment effluvium efficiency and the efficiency that the base plate was coated the membrane.)

一种可调张力的镀膜机

技术领域

本发明涉及一种镀膜机，具体为一种可调张力的镀膜机，属于防护镀膜机应用技术领域。

背景技术

随着人们生活水平的快速发展，镀膜机在工业生产领域使用越来越频繁，镀膜机将需要的镀膜的基板置于真空环境下，通过电子枪照射出的被加速的高能粒子轰击靶材表面，能量交换后，靶材上的表面组分的原子脱离原晶格而逸出，在真空环境下向下直线运动，转移到基体表面而凝结成膜，完成对基板的镀膜工作。

现有的镀膜机在使用时仍然存在着许多不足之处，现有的镀膜机上的电子枪对靶材轰击的位置不精准、轰击效率慢、轰击的覆盖面积不全面，导致基板在镀膜机中被镀膜的效率慢，镀膜机上的电子枪轰击靶体，其表面的组分逸出并下落凝结到基板表面进行镀膜覆盖的范围不全面、覆盖面积不均匀，且现有的镀膜机只能对同种宽度大小的基板进行镀膜工作，工作的适配范围小，镀膜机上的传动部件带动基板活动被镀膜工作时的平稳性差，导致靶材的表面组分逸出并落凝到基板上的精准度低，镀膜机对柔性的基板夹接进行镀膜时，不能灵活调节柔性基板被夹接固定时的张力，导致靶材的表面组分逸出并落凝到柔性基板上的量更少，工作人员不便于对镀膜机中的基板进行卸料或更换。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决现有的镀膜机上的电子枪对靶材轰击的位置不精准、轰击效率慢、轰击的覆盖面积不全面，导致基板在镀膜机中被镀膜的效率慢；镀膜机上的电子枪轰击靶体，其表面的组分逸出并下落凝结到基板表面进行镀膜覆盖的范围不全面、覆盖面积不均匀；且现有的镀膜机只能对同种宽度大小的基板进行镀膜工作，工作的适配范围小；镀膜机上的传动部件带动基板活动被镀膜工作时的平稳性差，导致靶材的表面组分逸出并落凝到基板上的精准度低；镀膜机对柔性的基板夹接进行镀膜时，不能灵活调节柔性基板被夹接固定时的张力，导致靶材的表面组分逸出并落凝到柔性基板上的量更少；工作人员不便于对镀膜机中的基板进行卸料或更换的问题，而提出一种可调张力的镀膜机。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：一种可调张力的镀膜机，包括装载支架、顶接板、托载台和泵体，所述装载支架顶部中间处水平设置有顶接板，且所述装载支架两端均竖向设置有侧封板，两个侧封板之间水平嵌设有托载台，所述泵体设置在装载支架一端下方，且所述泵体一端通过抽气管分别与两个侧封板贯穿连接，所述装载支架内部设置有镀膜仓；

其中，所述顶接板底部水平设置有挂台，且所述挂台上竖向挂接有溅射机构；

两个侧封板一端竖向设置有中空U形结构的夹框，两个夹框直接竖向套设有端盖板，所述端盖板底部设置有密封胶垫；

其中，两个夹框中部套设有电机一，所述电机一一端转动连接有齿轮一，且所述端盖板两端均设置有与齿轮一相适配的齿带；

所述镀膜仓一端底部设置有底插板，且所述底插板设置有与密封胶垫相适配的插槽，且所述镀膜仓底部平行设置有若干个运送机构；

其中，所述运送机构为两个呈平行设置的电机二，所述电机二上方转动连接有若干个圆柱形的转辊，且所述电机二上方设置有液压油缸，所述液压油缸上方通过液压轴伸动连接有载装框，且所述载装框两端上方均设置有电机三,所述电机三上转动连接有履带，且所述履带上方竖向设置有活动板，所述活动板内壁垂直设置有电机四，所述电机四一端转动连接有两个夹爪；

其中，所述液压油缸底部两端均设置有两个侧扣板，所述侧扣板内侧底部设置有滚动轮；

所述电机二两端上方均设置有与滚动轮相适配的内凹的滚槽一；

所述托载台上平行设置有若干个横撑杆，若干个所述横撑杆两两之间均设置有中空的落槽；

所述挂台上设置有中空的滚槽二，所述溅射机构顶部竖向设置内载板，且所述内载板内壁设置有电机五，所述内载板外壁竖向设置有轨板，且所述轨板上套设有电机六，所述电机六一端通过螺栓固定连接有外载板，且所述外载板底部两端均设置有电机七，两个所述电机七之间转动连接有旋摆板，所述旋摆板中套设有电子枪；

其中，所述电机五连接到滚槽二内部。

本发明的进一步技术改进在于：所述齿带上等间距设置有若干个滚齿，齿轮一一端连接到齿带上，电机一通过齿轮一配合齿带与端盖板活动连接。

本发明的进一步技术改进在于：所述夹框底部通过密封胶垫连接到插槽内部，密封胶垫连接到插槽内部，对镀膜仓密封。

本发明的进一步技术改进在于：若干个转辊呈等间距分布，且若干个转辊之间呈平行设置，通过若干个转辊旋动来带动液压油缸和基板。

本发明的进一步技术改进在于：所述电机三通过履带与活动板活动连接，且活动板底部两端均通过螺栓连接到履带上设置的螺孔中。

本发明的进一步技术改进在于：所述电机四一端的两个夹爪呈对称设置，且夹爪为“V”字形结构，通过电机四带动夹爪翻动，对基板的端部夹接，方便对基板进行镀膜工作。

本发明的进一步技术改进在于：所述液压油缸底部两端的侧扣板均通过滚动轮分别连接到电机二两端的滚槽一，液压油缸底部两端对称设置的两个侧扣板均通过滚动轮分别连接到电机二两侧的滚槽一中滚动，来配合液压油缸和基板移动，一方面，保证基板被调节移动更加平稳、牢靠，避免基板在移动时从夹爪上抖动或滑落，另一方面，极大的提高了靶材的表面组分逸出并落凝到基板上的精准度。

本发明的进一步技术改进在于：所述电机五通过齿轮二在滚槽二中与溅射机构活动连接，且电机六两端均通过齿轮三分别连接到轨板的两端侧壁，溅射机构上的电机六通过齿轮三在轨板滚动，来带动电子枪上下调节活动，来调节电子枪与靶材之间的工作间距，保证该镀膜机上的电子枪对不同厚度的靶材照射轰击的工作高度都更适宜。

本发明的进一步技术改进在于：所述溅射机构和载装框上均设置有红外传感器，且红外传感器与顶接板中的PLC控制器通信连接，通过红外传感器检测靶材的放置位置，通过PLC控制器控制溅射机构和基板移动对准靶材，提高了该镀膜机工作的精准度。

本发明的进一步技术改进在于：该镀膜机的使用方法具体包括以下步骤：

步骤一：靶材被摆置在托载台的若干个横撑杆上，将基片放置在载装框两端的电机四之间，载装框两端的电机三带动履带滚动，来带动电机四左右调节活动，从而调节载装框两侧夹爪之间的工作间距，两个电机四均通过夹爪分别抓接基片的两端；

步骤二：随后，电机一通过齿轮一带动端盖板侧部齿带上的滚齿滚动，来带动端盖板向下移动，密封胶垫插装入插槽中，对镀膜仓密封，泵体通过抽气管对镀膜仓内部抽真空处理；

步骤三：溅射机构上的电机五通过齿轮二在滚槽二中滚动，来带动电子枪调节移动至靶材正上方，且电机二通过转辊带动液压油缸和基片移动至靶材下方，电子枪照射轰击靶材，将靶材的表面组分以原子团或离子形式被溅射逸出，逸出的靶材表面组分从等间距设置的若干个落槽中落下，在真空中直线向下运动遇到基板后，在基板表面凝结聚成薄膜，溅射机构上的电机六通过齿轮三在轨板滚动，来带动电子枪上下调节活动，来调节电子枪与靶材之间的工作间距，在靶体的表面组分逸出并凝结到基板上的过程中，电机二通过转辊带动液压油缸和基板前后往复活动，从而对基板进行镀膜处理。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、靶材被摆置在托载台的若干个横撑杆上，将基片放置在载装框两端的电机四之间，两个电机四均通过夹爪分别抓接基片的两端，随后，电机一通过齿轮一带动端盖板侧部齿带上的滚齿滚动，来带动端盖板向下移动，密封胶垫插装入插槽中，对镀膜仓密封，泵体通过抽气管对镀膜仓内部抽真空处理，随后，溅射机构上的电机五通过齿轮二在滚槽二中滚动，来带动电子枪调节移动至靶材正上方，且电机二通过转辊带动液压油缸和基片移动至靶材下方，电子枪照射轰击靶材，将靶材的表面组分以原子团或离子形式被溅射逸出，逸出的靶材表面组分从等间距设置的若干个落槽中落下，在真空中直线向下运动遇到基板后，在基板表面凝结聚成薄膜，从而对基板进行镀膜处理，通过溅射机构上的电机五带动电子枪调节移动至靶材正上方，保证电子枪能够快速移动至靶材上方进行轰击工作，并且电子枪对靶材照射轰击时，电机七通过旋摆板带动电子枪左右往复翻转工作，一方面，保证靶材被电子枪轰击处理更完全，再配合电机五在挂台上带动电子枪左右调节活动，保证电子枪对靶材轰击面积覆盖更完全，另一方面，极大的提高了靶材表面组分被轰击逸出的效率以及基板被镀膜的效率。

2、溅射机构上的电机六通过齿轮三在轨板滚动，来带动电子枪上下调节活动，来调节电子枪与靶材之间的工作间距，保证该镀膜机上的电子枪对不同厚度的靶材照射轰击的工作高度都更适宜，保证了使用的灵活性；在靶体的表面组分逸出并凝结到基板上的过程中，电机二通过转辊带动液压油缸和基板前后往复活动，保证靶体表面的组分逸出并下落凝结到基板表面镀膜覆盖更加均匀、全面，提高了镀膜质量。

3、在转辊带动液压油缸前后调节活动时，液压油缸底部两端对称设置的两个侧扣板均通过滚动轮分别连接到电机二两侧的滚槽一中滚动，来配合液压油缸和基板移动，一方面，保证基板被调节移动更加平稳、牢靠，避免基板在移动时从夹爪上抖动或滑落，另一方面，极大的提高了靶材的表面组分逸出并落凝到基板上的精准度。

4、载装框两端的电机三带动履带滚动，来带动电机四左右调节活动，从而调节载装框两侧夹爪之间的工作间距，保证该镀膜机能够载装不同宽度的基板进行镀膜工作，且通过夹爪分别对基板两端夹接后，通过履带带动夹爪左右调动，调节基板被夹接固定时的张力，保证该镀膜机对柔性的基板镀膜工作时，能对柔性基板拉宽、提高其张力，提高了靶材的表面组分对基板落凝覆盖的量更多，提高了该覆膜机对基板的覆膜质量。

5、液压油缸通过带动液压轴伸出，能灵活调节基板与被轰击的靶材之间的间距，以保证不同高度的基板与靶材配合工作的间距更适宜，并且电机二通过转辊带动液压油缸和基板左右调节活动，便于对基板进行更换和卸料工作。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本发明作进一步的说明。

图1为本发明整体立体结构示意图。

图2为本发明图1中A区域细节放大示意图。

图3为本发明电机一俯视图。

图4为本发明图1中B区域细节放大示意图。

图5为本发明液压油缸与载装框连接正视图。

图6为本发明电机四结构示意图。

图7为本发明托载台结构示意图。

图8为本发明顶接板与挂台分离示意图。

图9为本发明挂台与溅射机构连接示意图。

图10为本发明图9中C区域细节放大示意图。

图中：1、装载支架；2、顶接板；3、侧封板；4、托载台；5、泵体；6、抽气管；7、镀膜仓；8、夹框；9、端盖板；10、密封胶垫；11、电机一；12、齿带；13、齿轮一；14、底插板；15、插槽；16、电机二；1601、滚槽一；17、转辊；18、液压油缸；19、载装框；20、电机三；21、履带；22、活动板；23、电机四；24、侧扣板；25、滚动轮；26、液压轴；27、夹爪；28、横撑杆；29、落槽；30、挂台；31、溅射机构；32、滚槽二；33、电机五；34、内载板；35、轨板；36、电机六；37、外载板；38、电机七；39、旋摆板；40、电子枪。

具体实施方式

下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-10所示，一种可调张力的镀膜机，包括装载支架1、顶接板2、托载台4和泵体5，装载支架1顶部中间处水平设置有顶接板2，且装载支架1两端均竖向设置有侧封板3，两个侧封板3之间水平嵌设有托载台4，泵体5设置在装载支架1一端下方，且泵体5一端通过抽气管6分别与两个侧封板3贯穿连接，装载支架1内部设置有镀膜仓7；

其中，顶接板2底部水平设置有挂台30，且挂台30上竖向挂接有溅射机构31；

两个侧封板3一端竖向设置有中空U形结构的夹框8，两个夹框8直接竖向套设有端盖板9，端盖板9底部设置有密封胶垫10；

其中，两个夹框8中部套设有电机一11，电机一11一端转动连接有齿轮一13，且端盖板9两端均设置有与齿轮一13相适配的齿带12；

镀膜仓7一端底部设置有底插板14，且底插板14设置有与密封胶垫10相适配的插槽15，且镀膜仓7底部平行设置有若干个运送机构；

其中，运送机构为两个呈平行设置的电机二16，电机二16上方转动连接有若干个圆柱形的转辊17，且电机二16上方设置有液压油缸18，液压油缸18上方通过液压轴26伸动连接有载装框19，且载装框19两端上方均设置有电机三20,电机三20上转动连接有履带21，且履带21上方竖向设置有活动板22，活动板22内壁垂直设置有电机四23，电机四23一端转动连接有两个夹爪23；

其中，液压油缸18底部两端均设置有两个侧扣板24，侧扣板24内侧底部设置有滚动轮25；

电机二16两端上方均设置有与滚动轮25相适配的内凹的滚槽一1601；

托载台4上平行设置有若干个横撑杆28，若干个横撑杆28两两之间均设置有中空的落槽29；

挂台30上设置有中空的滚槽二32，溅射机构31顶部竖向设置内载板34，且内载板34内壁设置有电机五33，内载板34外壁竖向设置有轨板35，且轨板35上套设有电机六36，电机六36一端通过螺栓固定连接有外载板37，且外载板37底部两端均设置有电机七38，两个电机七38之间转动连接有旋摆板39，旋摆板39中套设有电子枪40；

其中，电机五33连接到滚槽二32内部。

齿带12上等间距设置有若干个滚齿，齿轮一13一端连接到齿带12上，电机一11通过齿轮一13配合齿带12与端盖板9活动连接。

夹框8底部通过密封胶垫10连接到插槽15内部，密封胶垫10连接到插槽15内部，对镀膜仓7密封。

若干个转辊17呈等间距分布，且若干个转辊17之间呈平行设置，通过若干个转辊7旋动来带动液压油缸18和基板。

电机三20通过履带21与活动板22活动连接，且活动板22底部两端均通过螺栓连接到履带上设置的螺孔中。

电机四23一端的两个夹爪27呈对称设置，且夹爪27为“V”字形结构，通过电机四23带动夹爪27翻动，对基板的端部夹接，方便对基板进行镀膜工作。

液压油缸18底部两端的侧扣板均通过滚动轮25分别连接到电机二16两端的滚槽一1601，液压油缸18底部两端对称设置的两个侧扣板24均通过滚动轮25分别连接到电机二16两侧的滚槽一1601中滚动，来配合液压油缸18和基板移动，一方面，保证基板被调节移动更加平稳、牢靠，避免基板在移动时从夹爪27上抖动或滑落，另一方面，极大的提高了靶材的表面组分逸出并落凝到基板上的精准度。

电机五33通过齿轮二在滚槽二32中与溅射机构31活动连接，且电机六36两端均通过齿轮三分别连接到轨板35的两端侧壁，溅射机构31上的电机六36通过齿轮三在轨板35滚动，来带动电子枪上下调节活动，来调节电子枪40与靶材之间的工作间距，保证该镀膜机上的电子枪40对不同厚度的靶材照射轰击的工作高度都更适宜。

溅射机构31和载装框19上均设置有红外传感器，且红外传感器与顶接板2中的PLC控制器通信连接，通过型号为OS137-3的红外传感器检测靶材的放置位置，通过型号为CPM1A的PLC控制器控制溅射机构31和基板移动对准靶材，提高了该镀膜机工作的精准度。

该镀膜机的使用方法具体包括以下步骤：

步骤一：靶材被摆置在托载台4的若干个横撑杆28上，将基片放置在载装框19两端的电机四23之间，载装框19两端的电机三20带动履带21滚动，来带动电机四23左右调节活动，从而调节载装框19两侧夹爪27之间的工作间距，两个电机四23均通过夹爪27分别抓接基片的两端；

步骤二：随后，电机一11通过齿轮一13带动端盖板9侧部齿带12上的滚齿滚动，来带动端盖板9向下移动，密封胶垫10插装入插槽15中，对镀膜仓7密封，泵体5通过抽气管6对镀膜仓7内部抽真空处理；

步骤三：溅射机构31上的电机五33通过齿轮二在滚槽二32中滚动，来带动电子枪40调节移动至靶材正上方，且电机二16通过转辊17带动液压油缸18和基片移动至靶材下方，电子枪照射轰击靶材，将靶材的表面组分以原子团或离子形式被溅射逸出，逸出的靶材表面组分从等间距设置的若干个落槽29中落下，在真空中直线向下运动遇到基板后，在基板表面凝结聚成薄膜，溅射机构31上的电机六36通过齿轮三在轨板35滚动，来带动电子枪上下调节活动，来调节电子枪40与靶材之间的工作间距，在靶体的表面组分逸出并凝结到基板上的过程中，电机二16通过转辊17带动液压油缸18和基板前后往复活动，从而对基板进行镀膜处理。

使用时，靶材被摆置在托载台4的若干个横撑杆28上，将基片放置在载装框19两端的电机四23之间，两个电机四23均通过夹爪27分别抓接基片的两端，随后，电机一11通过齿轮一13带动端盖板9侧部齿带12上的滚齿滚动，来带动端盖板9向下移动，密封胶垫10插装入插槽15中，对镀膜仓7密封，泵体5通过抽气管6对镀膜仓7内部抽真空处理，随后，溅射机构31上的电机五33通过齿轮二在滚槽二32中滚动，来带动电子枪40调节移动至靶材正上方，且电机二16通过转辊17带动液压油缸18和基片移动至靶材下方，电子枪照射轰击靶材，将靶材的表面组分以原子团或离子形式被溅射逸出，逸出的靶材表面组分从等间距设置的若干个落槽29中落下，在真空中直线向下运动遇到基板后，在基板表面凝结聚成薄膜，从而对基板进行镀膜处理，通过溅射机构31上的电机五33带动电子枪40调节移动至靶材正上方，保证电子枪40能够快速移动至靶材上方进行轰击工作，并且电子枪40对靶材照射轰击时，电机七38通过旋摆板39带动电子枪40左右往复翻转工作，一方面，保证靶材被电子枪40轰击处理更完全，再配合电机五33在挂台30上带动电子枪40左右调节活动，保证电子枪40对靶材轰击面积覆盖更完全，另一方面，极大的提高了靶材表面组分被轰击逸出的效率以及基板被镀膜的效率；

溅射机构31上的电机六36通过齿轮三在轨板35滚动，来带动电子枪上下调节活动，来调节电子枪40与靶材之间的工作间距，保证该镀膜机上的电子枪40对不同厚度的靶材照射轰击的工作高度都更适宜，保证了使用的灵活性；在靶体的表面组分逸出并凝结到基板上的过程中，电机二16通过转辊17带动液压油缸18和基板前后往复活动，保证靶体表面的组分逸出并下落凝结到基板表面镀膜覆盖更加均匀、全面，提高了镀膜质量；

在转辊17带动液压油缸18前后调节活动时，液压油缸18底部两端对称设置的两个侧扣板24均通过滚动轮25分别连接到电机二16两侧的滚槽一1601中滚动，来配合液压油缸18和基板移动，一方面，保证基板被调节移动更加平稳、牢靠，避免基板在移动时从夹爪27上抖动或滑落，另一方面，极大的提高了靶材的表面组分逸出并落凝到基板上的精准度；

载装框19两端的电机三20带动履带21滚动，来带动电机四23左右调节活动，从而调节载装框19两侧夹爪27之间的工作间距，保证该镀膜机能够载装不同宽度的基板进行镀膜工作，且通过夹爪27分别对基板两端夹接后，通过履带21带动夹爪27左右调动，调节基板被夹接固定时的张力，保证该镀膜机对柔性的基板镀膜工作时，能对柔性基板拉宽、提高其张力，提高了靶材的表面组分对基板落凝覆盖的量更多，提高了该覆膜机对基板的覆膜质量；

液压油缸18通过带动液压轴26伸出，能灵活调节基板与被轰击的靶材之间的间距，以保证不同高度的基板与靶材配合工作的间距更适宜，并且电机二16通过转辊17带动液压油缸18和基板左右调节活动，便于对基板进行更换和卸料工作。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。