阅读说明：本技术 一种惯性测量仪封装结构 (Inertia measuring instrument packaging structure ) 是由 朱伟琪 于 2020-06-30 设计创作，主要内容包括：本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种惯性测量仪封装结构,其中,包括：一底板；一围堰,设置在底板上,并于底板上方形成空腔；一引线框,设置于空腔的底部,引线框设置有焊盘；至少一颗裸晶,设置于空腔内；复数根金线,用以分别对应连接引线框的焊盘及裸晶的焊盘；一金属盖,覆盖并固定于围堰的顶部,用以遮蔽空腔；一防护膜,粘贴于金属盖的内侧顶部,用以防护空腔内的引线框、裸晶以及复数根金线。有益效果：通过金属盖覆盖围堰的顶部,以保护裸晶,避免现有技术中环氧树脂模压对裸晶产生的应力,有效提升惯性测量仪的产品性能,降低产品成本,缩短生产周期。(The invention relates to the technical field of semiconductors, in particular to an inertia measuring instrument packaging structure, which comprises: a base plate; the cofferdam is arranged on the bottom plate, and a cavity is formed above the bottom plate; the lead frame is arranged at the bottom of the cavity and provided with a bonding pad; at least one bare crystal arranged in the cavity; a plurality of gold wires for connecting the bonding pads of the lead frame and the die correspondingly; the metal cover covers and is fixed at the top of the cofferdam to shield the cavity; and the protective film is adhered to the top of the inner side of the metal cover and used for protecting the lead frame, the bare chip and the plurality of gold wires in the cavity. Has the advantages that: the top of the cofferdam is covered by the metal cover to protect the bare crystals, so that the stress of epoxy resin mould pressing on the bare crystals in the prior art is avoided, the product performance of the inertia measuring instrument is effectively improved, the product cost is reduced, and the production period is shortened.)

一种惯性测量仪封装结构

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种惯性测量仪封装结构。

背景技术

随着科技的发展，电子产品逐渐走进人们的生活，而电子产品中的裸晶是决定产品性能的决定性因素，例如，惯性测量仪在生产过程中，需要对其进行封装。

现有技术中，惯性测量仪均采用环氧树脂进行封装，其使用成本较高，并且对于惯性测量仪这类MEMS(Micro-Electro-Mechanical System微电子机械系统)的产品来说，其对应力的敏感度较高，在采用环氧树脂封装过程中产生的应力较大会对产品性能产生影响，并且使用环氧树脂生产的惯性测量仪键合的线弧受材料参数等影响产生变形，导致线受损、短路等风险，因此对于生产工艺和材料特性也有较高的要求，同时也就增加了惯性测量仪封装的成本和难度，并且采用环氧树脂进行封装需要较长的生产周期。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种惯性测量仪封装结构。

具体技术方案如下：

本发明提供一种惯性测量仪封装结构，其中，包括：

一底板；

一围堰，设置在所述底板上，并于所述底板上方形成空腔；

一引线框，设置于所述空腔的底部，所述引线框设置有焊盘；

至少一颗裸晶，设置于所述空腔内；

复数根金线，用以分别对应连接所述引线框的焊盘及所述裸晶的焊盘；

一金属盖，覆盖并固定于所述围堰的顶部，用以遮蔽所述空腔；

一防护膜，所述防护膜粘贴于所述金属盖的内侧顶部，用以防护所述空腔内的所述引线框、所述裸晶以及复数根所述金线。

优选的，所述金属盖与所述围堰的顶部进行固定使所述空腔被密封。

优选的，所述金属盖设置一透气通孔，用以释放所述空腔内的热量。

优选的，还包括一胶水涂料，涂覆于每根所述金线上，用于防止所述金线损坏。

优选的，所述胶水涂料为硅胶。

优选的，所述围堰包括朝向所述空腔内的一第一台阶，所述引线框设置于所述第一台阶上。

优选的，在所述第一台阶上还设置一第二台阶，所述第二台阶顶部与所述金属盖进行固定。

优选的，所述金属盖通过一锡膏焊接固定于所述第二台阶顶部。

优选的，所述裸晶的数量大于一颗时，所述裸晶之间通过绑定金线进行绑定。

优选的，所述裸晶的数量大于一颗时，相互绑定的所述裸晶堆叠在所述空腔内，较厚的所述裸晶位于下方，较薄的所述裸晶位于上方。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：通过金属盖覆盖围堰的顶部，以保护裸晶，避免现有技术中环氧树脂模压对裸晶产生的应力，有效提升惯性测量仪的产品性能，降低产品成本，缩短生产周期。

附图说明

参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。

图1为本发明的实施例的结构示意图；

图2为本发明的实施例的腔体结构示意图。

上述附图标记表示说明：

底板1；围堰2；第一台阶20；第二台阶21；引线框3；裸晶4；金线5；胶水涂料50；金属盖6；防护膜7；透气通孔8；绑定金线9。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。

本发明提供一种惯性测量仪封装结构，其中，包括：

一底板1；

一围堰2，设置在底板1上，并于底板1上方形成空腔；

一引线框3，设置于空腔的底部，引线框3设置有焊盘；

至少一颗裸晶4，设置于空腔内；

复数根金线5，用以分别对应连接引线框3的焊盘及裸晶4的焊盘；

一金属盖6，覆盖并固定于围堰2的顶部，用以遮蔽空腔；

一防护膜7，防护膜7粘贴于金属盖6的顶部，用以防护空腔内的引线框3、裸晶4以及复数根金线5。

结合图1、2所示，上述底板1为矩形，围堰2设置在底板1上，围堰2包围底板1的四周，以致于在底板1的上方形成空腔，使得裸晶4能够容纳在空腔内。本实施例中，围堰2与底板1固定所形成的管壳以替代现有技术中用于承载裸晶4的基板。

进一步地，在复数根金线5分别对应连接引线框3的焊盘及裸晶4的焊盘后，通过使用金属盖6替代现有技术中环氧树脂模压以覆盖裸晶4，避免现有技术中环氧树脂模压对裸晶4产生的应力，起到保护裸晶4的作用，有效提升惯性测量仪的产品性能，降低产品成本，缩短生产周期。

进一步地，本实施例中在金属盖6的内侧顶部还粘贴一层防护膜7，用于防水防污染，起到保护空腔内的引线框3、裸晶4以及复数根金线5的作用，且该防护膜7还可以粘贴在金属盖6的内侧的四周，可以达到最高级别IP68的防水作用。

在一种较优的实施例中，金属盖6与围堰4的顶部进行固定使空腔被密封。

具体地，通过将金属盖6与围堰4的顶部固定，使得上述技术方案中的裸晶4被保护好在金属盖6与围堰4形成的密封的空腔中而不易造成损坏。

本实施例中，金属盖6与第二台阶21顶部固定，相较于传统技术中，环氧树脂模压固化过程中只能固化90％左右，后续还需要一个高温过程来使环氧树脂反应完全固化，并且其完全固化时间是4～6小时，显而易见，本发明中通过金属盖6来替代环氧树脂，使得生产周期被有效的缩短。

在一种较优的实施例中，还包括一胶水涂料50，涂覆于每根金线5上，用于防止金线5损坏。

具体地，在每根金线5上涂抹上胶水涂料50，从而起到保护金线5的作用。

在一种较优的实施例中，胶水涂料50为硅胶。

具体地，上述的胶水涂料50可以是硅胶，所谓硅胶指的是一种高活性吸附材料，属非晶态物质，除强碱、氢氟酸外不与任何物质发生反应，不溶于水和任何溶剂，无毒无味，具有吸附性能高、热稳定性好、化学性质稳定、有较高的机械强度等优点，因此，使用硅胶可以较好的保护上述中的金线5不易损坏。

在一种较优的实施例中，如图1所示，围堰2包括朝向空腔内的一第一台阶20，引线框3设置于第一台阶20上。

在一种较优的实施例中，在第一台阶20上还设置一第二台阶21，第二台阶21顶部与金属盖6进行固定。

具体地，上述围堰2中还包括有第二台阶21，第二台阶21设置在上述第一台阶20上，金属盖6可与第二台阶21的顶部固定，从而使得金属盖6与围堰2形成可以容纳裸晶4的空腔。

在一种较优的实施例中，金属盖6通过一锡膏(图中未显示)焊接固定于第二台阶21顶部。

具体地，本实施例中，金属盖6通过使用锡膏(图中未显示)与第二台阶21顶部焊接，在此基础上可提供一回焊炉(图中未显示)来实施焊接操作，金属盖6与第二台阶21顶部焊接经过回焊炉(图中未显示)操作的时间可小于10分钟，相较于传统技术中，环氧树脂模压固化过程中只能固化90％左右，后续还需要一个高温过程来使环氧树脂反应完全固化，并且其完全固化时间是4～6小时，显而易见，本发明中通过金属盖6来替代环氧树脂，使得有效的缩短生产周期。

在一种较优的实施例中，金属盖6设置一透气通孔8，用以释放空腔内的热量。

具体地，如图1所示，在上述技术方案中，由于金属盖6与第二台阶21顶部焊接经过回焊炉操作会产生热量，因此，可通过在金属盖6上设置一个透气通孔8，以使得空腔内的热量被释放，避免热量留在空腔内造成结构变形而产生应力。另外，需要说明的是，本实施例中的透气通孔8会被上述技术方案中的防护膜7遮挡，以避免外界的水和\或杂质通过该透气通孔8渗透到空腔内造成引线框3、裸晶4以及复数根金线5的损坏。

在一种较优的实施例中，裸晶4的数量大于一颗时，裸晶4之间通过绑定金线9进行绑定。

在一种较优的实施例中，裸晶4的数量大于一颗时，相互绑定的裸晶4堆叠在空腔内，较厚的裸晶4位于下方，较薄的裸晶4位于上方。

上述实施例中，多颗相互绑定的裸晶4堆叠在空腔内可减少惯性测量仪封装后的尺寸。在此基础上，进一步的，较厚的裸晶4位于下方，较薄的裸晶4位于上方，且连接引线框3的金线可由位于上方的裸晶引出，使得需要连接位于第一台阶20上的引线框3的裸晶4位置被抬高，从而避免连接引线框3和位于上方的裸晶4之间的金线5被弯曲过大的弧度，从而避免金线5被损坏。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：通过金属盖覆盖围堰的顶部，以保护裸晶，避免现有技术中环氧树脂模压对裸晶产生的应力，有效提升惯性测量仪的产品性能，降低产品成本，缩短生产周期。

以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。