阅读说明：本技术 一种具有混镀的高效真空电镀装置 (High-efficient vacuum plating device with mix and plate ) 是由 朱卫福 陆乾明 施建国 于 2019-11-08 设计创作，主要内容包括：本发明属于真空电镀技术领域,且公开了一种具有混镀的高效真空电镀装置,包括底板,所述底板的顶部安装有第一管体,且底板的一侧转动连接有第二管体,所述第二管体和第一管体的内壁均安装有密封垫,所述第一管体内壁靠近密封垫的一侧位置处安装有膜厚计,且第一管体内部靠近膜厚计的下方安装有加热管,所述第一管体内部靠近加热管的下方安装有坩埚,本发明通过插杆将转轴和连杆进行卡合,通过插销将插杆的一端进行卡合固定,需要将连杆取出放置靶材时,只需将插杆和插销拔出即可,让使用者可以将靶材一次性放置于连杆上,可以将连杆取出进行一次性放置,大大降低了靶材的放置难度,提高了靶材的放置效率。(The invention belongs to the technical field of vacuum electroplating, and discloses a high-efficiency vacuum electroplating device with mixed plating, which comprises a bottom plate, wherein a first pipe body is arranged at the top of the bottom plate, one side of the bottom plate is rotatably connected with a second pipe body, sealing gaskets are respectively arranged on the inner walls of the second pipe body and the first pipe body, a film thickness meter is arranged at one side of the inner wall of the first pipe body, which is close to the sealing gasket, a heating pipe is arranged in the first pipe body, which is close to the lower part of the film thickness meter, and a crucible is arranged in the first pipe body, which is close to the lower part of the heating pipe. The placing difficulty of the target is greatly reduced, and the placing efficiency of the target is improved.)

一种具有混镀的高效真空电镀装置

技术领域

本发明属于真空电镀技术领域，具体涉及一种具有混镀的高效真空电镀装置。

背景技术

真空电镀是一种物理沉积现象真空蒸镀、溅射镀和离子镀几种类型。它们都是采用在真空条件下，通过蒸馏或溅射等方式在塑件表面沉积各种金属和非金属薄膜，通过这样的方式可以得到非常薄的表面镀层，同时具有速度快附着力好的突出优点。

在专利号为“CN201720345557.8”的中国专利中，公开了一种具有混镀的高效真空电镀装置，该专利描述到“转盘在步进电机带动下，使得圆柱耙旋转电镀，能够覆盖到产品的任意面，结构合理，功能使用方便，适合广泛推广”，该专利提出的装置虽然可将靶材旋转电镀，但是需要将靶材逐一放置于装置内部，无法将靶材放置结构取出进行一次性放置，大大增加了靶材的放置难度，降低了靶材的放置效率，并且放置结构的规格无法依据使用者的需求进行调节，装置的使用范围具有局限性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有混镀的高效真空电镀装置，以解决上述背景技术中提出的需要将靶材逐一放置于装置内部，无法将靶材放置结构取出进行一次性放置，大大增加了靶材的放置难度，降低了靶材的放置效率和放置结构的规格无法依据使用者的需求进行调节，装置使用范围具有局限性的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种具有混镀的高效真空电镀装置，包括底板，所述底板的顶部安装有第一管体，且底板的一侧转动连接有第二管体，所述第二管体和第一管体的内壁均安装有密封垫，所述第一管体内壁靠近密封垫的一侧位置处安装有膜厚计，且第一管体内部靠近膜厚计的下方安装有加热管，所述第一管体内部靠近加热管的下方安装有坩埚，所述第一管体相邻于第二管体的一侧安装有真空泵，所述真空泵相对于第一管体的一侧安装有抽气管，所述抽气管相对于真空泵的一端与第一管体固定连接，所述第二管体的外壁安装有控制器，所述膜厚计、加热管和真空泵均与控制器电性连接，所述第二管体的顶部通过螺栓固定连接有电机，所述电机的底部转动连接有转轴，且电机与控制器电性连接，所述转轴延伸至第二管体内部的一端卡合有连杆，所述连杆与转轴之间贯穿有插杆，所述插杆的一端贯穿有插销。

优选的，所述连杆上套设有隔板，所述隔板与连杆之间旋合连接有调节螺栓，所述连杆靠近隔板的一侧位置处开设有调节槽。

优选的，所述调节螺栓的两侧均安装有指杆，所述指杆的两侧均开设有指槽。

优选的，所述底板的底部安装有底垫，所述底垫的底部开设有防滑槽。

优选的，所述第二管体靠近控制器的一侧位置处通过螺栓固定连接有把杆，所述把杆上套设有把套。

优选的，所述插杆的一端开设有指孔，所述插销的顶部安装有拉环。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

(1)本发明通过插杆将转轴和连杆进行卡合，通过插销将插杆的一端进行卡合固定，需要将连杆取出放置靶材时，只需将插杆和插销拔出即可，让使用者可以将靶材一次性放置于连杆上，可以将连杆取出进行一次性放置，大大降低了靶材的放置难度，提高了靶材的放置效率。

(2)本发明通过连杆对隔板进行支撑，通过拧紧调节螺栓，使调节螺栓***调节槽中，从而将连杆与隔板固定，让隔板的间距可以依据使用者的需求进行调节，从而达到了提高装置使用范围的效果。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明第二管体关闭后的正视图；

图3为图1中A部的放大图；

图中：1-底板；2-第一管体；3-第二管体；4-密封垫；5-膜厚计；6-加热管；7-坩埚；8-真空泵；9-抽气管；10-控制器；11-电机；12-转轴；13-连杆；14-插杆；15-插销；16-隔板；17-调节螺栓；18-调节槽；19-指杆；20-底垫；21-把杆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-图3所示，本发明提供如下技术方案：一种具有混镀的高效真空电镀装置，包括底板1，底板1的顶部安装有第一管体2，且底板1的一侧转动连接有第二管体3，第二管体3和第一管体2的内壁均安装有密封垫4，第一管体2内壁靠近密封垫4的一侧位置处安装有膜厚计5，且第一管体2内部靠近膜厚计5的下方安装有加热管6，第一管体2内部靠近加热管6的下方安装有坩埚7，第一管体2相邻于第二管体3的一侧安装有真空泵8，真空泵8采用PVX-16真空泵，额定流量为16m³/h，电机功率0.55KW，真空泵8相对于第一管体2的一侧安装有抽气管9，抽气管9相对于真空泵8的一端与第一管体2固定连接，第二管体3的外壁安装有控制器10，控制器10采用PLC可编辑控制器，型号为PLCCPU226，输出频率为30KHZ，工作电压为24V，膜厚计5、加热管6和真空泵8均与控制器10电性连接，第二管体3的顶部通过螺栓固定连接有电机11，电机11采用GH-28-750-60S驱动电机，电机11的底部转动连接有转轴12，且电机11与控制器10电性连接，转轴12延伸至第二管体3内部的一端卡合有连杆13，需要拆卸连杆13时，将插杆14和插销15拔出，将连杆13往下拉动，让连杆13与转轴12分离，让使用者便于将靶体放置于连杆13上，在一次性与转轴12连接，提高靶体的放置效率，连杆13与转轴12之间贯穿有插杆14，插杆14的一端贯穿有插销15。

进一步的，连杆13上套设有隔板16，隔板16与连杆13之间旋合连接有调节螺栓17，通过连杆13对隔板16进行支撑，通过拧紧调节螺栓17，使调节螺栓17进入调节槽18，从而将连杆13和隔板16固定，让隔板16的间距可以依据使用者的需求进行调节，连杆13靠近隔板16的一侧位置处开设有调节槽18。

更进一步的，调节螺栓17的两侧均安装有指杆19，通过指杆19和指槽让调节螺栓17便于转动，指杆19的两侧均开设有指槽。

具体的，底板1的底部安装有底垫20，通过底垫20和防滑槽增加地板1底部的防滑性，让底板1更加稳定，底垫20的底部开设有防滑槽。

值得说明的是，第二管体3靠近控制器10的一侧位置处通过螺栓固定连接有把杆21，通过把杆21和把套让第二管体3便于开启，把杆21上套设有把套。

优选的，插杆14的一端开设有指孔，通过指孔和拉环让插杆14和插销15便于拉动，插销15的顶部安装有拉环。

本发明的工作原理及使用流程：该发明在使用时，将装置移动至使用点，通过底垫20增加底板1的防滑性，让装置更加稳固，装置稳固放置后，通过把杆21开启第二管体3，将第二管体3开启至最大的开启角度，将插杆14和插销15拔出，将连杆13与转轴12分离，通过指杆19将调节螺栓17拧松，将隔板16在连杆13上拉动，使隔板16移动至使用者需要的位置，拧紧调节螺栓17，使调节螺栓17进入调节槽18，从而将连杆13与隔板16固定，通过隔板16放置靶体，将连杆13插回原处，将插杆14和插销15插回原处，从而将转轴12和连杆13固定，将需要电镀的原料放置于坩埚7中，关闭第二管体3，启动真空泵8，使真空泵8通过抽气管9抽出装置内部的空气，加热管6对原料加热，使原料温度升高，从而气化附着于靶材外部，完成电镀。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。