半导体封装结构及其形成方法

文档序号:1863529 发布日期:2021-11-19 浏览:29次 >En<

阅读说明:本技术 半导体封装结构及其形成方法 (Semiconductor packaging structure and forming method thereof ) 是由 黄文宏 于 2021-07-22 设计创作,主要内容包括:本发明涉及一种半导体封装结构及其形成方法。该半导体封装结构包括:第一基板,包括内埋于第一基板的电子元件;第二基板,位于第一基板上方;其中,电子元件通过第二基板与第一基板电性连接。(The invention relates to a semiconductor packaging structure and a forming method thereof. The semiconductor package structure includes: a first substrate including an electronic element embedded therein; a second substrate positioned above the first substrate; the electronic element is electrically connected with the first substrate through the second substrate.)

半导体封装结构及其形成方法

技术领域

本发明的实施例涉及半导体技术领域,更具体的,涉及一种半导体封装结构及其形成方法。

背景技术

随着封装技术的演进,各式各样的封装结构亦推陈出新,整体封装尺寸也越来越小,功能也越来越多,故通常需要一个封装结构来控制各种元件。

目前高阶应用所需要的内埋基板,必须随着I/O数量增加而增加内埋线路的层数,但随着层数增加所伴随的基板涨缩与翘曲(warpage)等问题,都将降低产品的良率。例如,目前内埋基板增层每层良率约为95%~97%,若是基本四层板良率约落在约90%,若是为了增加I/O数量而增加层数则会使良率再下降至约80%。如此一来则会完全没有经济效益,最主要的是Die first(先管芯)工艺中的管芯也一并报废。

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